Description
| - A subject of the proposed research plan is solution of fundamental problems from the field of discharge plasma physics, plasma chemistry , surface physics and engineering, physics of thin films, solid state physics, electrical engineering andvacuum technology arising from formation of and research into a new generation of thin film materials with unique physical and functional properties (en)
- Předmětem navrhovaného výzkumného záměru je řešení základních problémů v oblasti fyziky výbojového plazmatu, plazmochemie, fyziky a inženýrství povrchů, fyziky tenkých vrstev, fyziky pevných látek, elektro-techniky a vakuové technologie, které vznikají pgenerace tenkovrstvých materiálů s unikátními fyzikálními a funkčními vlastnostmi. Tyto materiály budou připraveny zejména nekonvenčními procesy ve výbojovém plazmatu různého typu. Jedná se především o magnetronové amikrovlnné výboje pracující v kontinuáHlavní pozornost bude věnována modelování a diagnostice nerovnovážného výbojového plazmatu, studiu procesů růstu vrstev a modifikace povrchů, návrhu a výzkumu nových zdrojů plazmatu pro depozici tenkých vrstev a modifikaci povrchů, charakterizaci vytvořepovrchů a rovněž studiu termomechanických procesů v materiálech. Výzkumná činnost bude zaměřena na čtyři oblasti: nové nanostrukturní tenkovrstvé materiály, nové tenkovrstvé materiály na bázi ternárních a kvaternárních systémů uhlíku, křemíku, boru a dus
|