About: Termovizní měření v PVD technologiích     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Temperature of Ti target in reactive magnetron sputtering process was measured by InfraRed (IR) camera. The IR radiation from hot target was detected through the IR transparent germanium window. The transmissivity of Ge window was measured with FTIR spectrometer. All three parts of sputtering process were measured - discharge starting, own deposition and cooling after deposition. Thermograms and line profiles through the surface temperatures of Ti target were compared for time of switch on and off of source, 10 and 20 seconds later. Possibilities of measuring with thermovision system were shown. (en)
  • Teplota Ti terče při reaktivním magnetronovém naprašování byla měřena termovizní kamerou. Infračervené záření z terče bylo snímáno přes germaniové okénko, které je v těchto vlnových délkách propustné. Propustnost Ge okénka byla měřena na FTIR spektrometru. Měření bylo prováděno při všech třech etapách naprašování - startování výboje, vlastní depozice a chladnutí po depozici. Termogramy a čárové profily povrchové teploty Ti terče byly porovnávány v čase začátku depozice, ukončení depozice, 10 a 20 s po jejím ukončení. Jsou ukázány možnosti měření termovizním systémem.
  • Teplota Ti terče při reaktivním magnetronovém naprašování byla měřena termovizní kamerou. Infračervené záření z terče bylo snímáno přes germaniové okénko, které je v těchto vlnových délkách propustné. Propustnost Ge okénka byla měřena na FTIR spektrometru. Měření bylo prováděno při všech třech etapách naprašování - startování výboje, vlastní depozice a chladnutí po depozici. Termogramy a čárové profily povrchové teploty Ti terče byly porovnávány v čase začátku depozice, ukončení depozice, 10 a 20 s po jejím ukončení. Jsou ukázány možnosti měření termovizním systémem. (cs)
Title
  • Termovizní měření v PVD technologiích
  • Infrared Camera Measurement in PVD Technologies (en)
  • Termovizní měření v PVD technologiích (cs)
skos:prefLabel
  • Termovizní měření v PVD technologiích
  • Infrared Camera Measurement in PVD Technologies (en)
  • Termovizní měření v PVD technologiích (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23640/09:00502973!RIV10-MSM-23640___
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(2A-1TP1/080), Z(MSM4977751302)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 345947
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23640/09:00502973
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • infrared camera measurement; PVD technologies (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [27A4B63A6F6D]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Rožnov pod Radhoštěm
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Trenčín
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Vrstvy a povlaky 2009
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Honner, Milan
  • Tesař, Jiří
  • Martan, Jiří
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Digital Graphics
https://schema.org/isbn
  • 978-80-969310-9-5
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23640
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software