About: Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Studie je věnována analýze nanokrystalických a amorfních vrstev TiO2 na křemíkových a skleněných substrátech připravených reaktivní pulzní duální magnetronovou depozicí. Byly provedeny XRD ananlýzy mikrostruktury fázového složení a zbytkových pnutí. Měření fázového složení v profilu deponovaných nanokrystalických vrstev prokázalo silnou závislost fázového složení vrstev na jejich tloušťce a dominantní přítomnost krystalové fáze rutil na rozhraní substrát-film, která s rostoucí tloušťkou přechází na krystalovou fázi anatáz. Žíháním amorfních vrstev TiO2 byla zjištěna krystalizační teplota okolo 250°C, která závisela na jejich tloušťce. Pro velmi ten (cs) TiO2 films are nowadadays widely used because of their interesting photocatalytic and self cleaning properties. Complex X-ray scattering studies were performed on sets of titanium dioxide thin films sputtered by dual dc magnetron. Three sets of nanocrystalline and amorphous TiO2 thin films magnetron deposited on glass and silicon substrates have been studied. TiO2 films are nowadadays widely used because of their interesting photocatalytic and self cleaning properties. Complex X-ray scattering studies were performed on sets of titanium dioxide thin films sputtered by dual dc magnetron. Three sets of nanocrystalline and amorphous TiO2 thin films magnetron deposited on glass and silicon substrates have been studied. (en)
Title	Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity (en) Studie krystalizace a růstu vrstev TiO2 připravených magnetronovým naprašováním s využitím XRD difrakce a reflektance (cs)
skos:prefLabel	Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity (en) Studie krystalizace a růstu vrstev TiO2 připravených magnetronovým naprašováním s využitím XRD difrakce a reflektance (cs)
skos:notation	RIV/49777513:23520/07:00000343!RIV08-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	284
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P Z
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GA106/06/0327), Z(MSM0021620834), Z(MSM4977751302)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2008
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Musil, Jindřich Šícha, Jan
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Západočeská univerzita v Plzni / Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...dnocenehoVysledku	452879
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/49777513:23520/07:00000343
http://linked.open...riv/jazykVysledku	eng - angličtina
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	thin films; TiO2; anatase; dc magnetron sputtering; microstructure (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	dc magnetron sputtering TiO2 microstructure anatase thin films
http://linked.open...odStatuVydavatele	DK - Dánské království
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[A35E32CC34CD]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Acta Crystallographica
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	2 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Crystallization of amorphous and nanocrystalline thin films
http://linked.open...UplatneniVysledku	2007
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Musil, Jindřich Šícha, Jan Kužel, Radomír Matěj, Z.
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer	Condensed Matter Physics – New Materials and Technologies Procesy ve výbojovém plazmatu a nové tenkovrstvé materiály s unikátními vlastnostmi
issn	0108-7673
number of pages	2 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	23520
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of	Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity Structural studies of crystallization and growth of magnetron deposited TiO2 thin films by X-ray diffraction and reflectivity

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 81 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software