Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Článek popisuje vliv přidaného hliníku na strukturu, makropnutí, mechanické vlastnosti a oxidační odolnost TiC-Al filmů. Tyto filmy byly naprašovány za použití stejnosměrného nevyváženého magnetronu vybaveného TiC terčem (o čistotě 99.95 %) upevněného Al kroužkem (o čistotě 99.99 %) s proměnným vnitřním průměrem. Bylo zjištěno, že postupné zvýšení obsahu hliníku v TiC-Al vrstvách vede k: (i) postupné změně struktury od krystalického TiC přes XRD amorfní TiC-Al ke krystalickým TiAl2, (ii) snížení tlakového pnutí a jeho přechodu do pnutí tahového (iii) snížení mikrotvrdosti filmů (iv) zlepšení oxidační odolnosti. (cs)
- The article reports on the effect of Al addition on the structure, macrostress, mechanical properties and oxidation resistance of TiC-Al thin films. These films were sputtered using dc unbalanced magnetron equipped with a TiC target fixed with an Al fixing ring of various inner diameters. It was found that a continuous increase in Al content in the TiC-Al film results in gradual change of the film structure from the crystalline TiC through X-ray amorphous TiC-Al to the crystalline Al2Ti, decrease in the compressive macrostress up to its conversion to the tensile one decrease in film microhardness, and increase in its oxidation resistance.
- The article reports on the effect of Al addition on the structure, macrostress, mechanical properties and oxidation resistance of TiC-Al thin films. These films were sputtered using dc unbalanced magnetron equipped with a TiC target fixed with an Al fixing ring of various inner diameters. It was found that a continuous increase in Al content in the TiC-Al film results in gradual change of the film structure from the crystalline TiC through X-ray amorphous TiC-Al to the crystalline Al2Ti, decrease in the compressive macrostress up to its conversion to the tensile one decrease in film microhardness, and increase in its oxidation resistance. (en)
|
Title
| - Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films
- Vliv přidaného hliníku na strukturu a vlastnosti naprašovaných TiC filmů (cs)
- Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films (en)
|
skos:prefLabel
| - Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films
- Vliv přidaného hliníku na strukturu a vlastnosti naprašovaných TiC filmů (cs)
- Effect of Addition on Structure and Properties of Sputtered TiC Films (en)
|
skos:notation
| - RIV/49777513:23520/07:00000103!RIV08-MSM-23520___
|
http://linked.open.../vavai/riv/strany
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/49777513:23520/07:00000103
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Al doping; magnetron sputtering; mechanical properties; oxidation resistance; structure; TiC-Al films (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...odStatuVydavatele
| - DE - Spolková republika Německo
|
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Plasma Processes and Polymers
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Musil, Jindřich
- Zeman, Petr
- Soldán, Jan
|
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |
is http://linked.open...avai/riv/vysledek
of | |