About: Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Článek se věnuje analýze korelací mezi parametry depozičního procesu magnetronového naprašování, povrchové morfologie a struktury fotoaktivních vrstev TiO2. Klíčovým parametrem ovlivňujícím výsledné vlastnosti vrstev TiO2 je parciální tlak kyslíku, jehož pokles vede k výraznému zvýšení depoziční rychlosti změnám struktury připravených vrstev. Maximální povrchová drsnost byla dosažena u vrstev připravených v přechodovém režimu se strukturou rutil+anatase. (cs)
  • This article reports on investigation of the correlations between the process parameters, structure, and surface morphology of sputtered TiO2 films prepared by magnetron sputtering. It has been found that the increase in the partial pressure of oxygen results in the decrease of TiO2 film deposition rate and strong changes in its structure. Maximum surface roughness was observed for films sputtered in transition mode of sputtering with the structure rutile+anatase.
  • This article reports on investigation of the correlations between the process parameters, structure, and surface morphology of sputtered TiO2 films prepared by magnetron sputtering. It has been found that the increase in the partial pressure of oxygen results in the decrease of TiO2 film deposition rate and strong changes in its structure. Maximum surface roughness was observed for films sputtered in transition mode of sputtering with the structure rutile+anatase. (en)
Title
  • Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films
  • Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films (en)
  • Povrchová morfologie TiO2 vrstev připravených magnetronovým naprašováním (cs)
skos:prefLabel
  • Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films
  • Surface Morphology of Magnetron Sputtered TiO2 Films (en)
  • Povrchová morfologie TiO2 vrstev připravených magnetronovým naprašováním (cs)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/07:00000104!RIV08-MSM-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 0
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • S, Z(MSM4977751302)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 453583
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/07:00000104
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • reactive magnetron sputtering; roughness; structure; surface morphology; TiO2 films (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • DE - Spolková republika Německo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [D6222AEB28EE]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Plasma Processes and Polymers
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Heřman, David
  • Musil, Jindřich
  • Pavlík, Jaroslav
  • Šícha, Jan
  • Strýhal, Zdeněk
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 1612-8850
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software