| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - The contrast mechanisms based on the difference in the distribution of signal electrons recorded for every point of the surface of the bulk sample in very-low energy scanning electron microscope will be studied. The signal electrons escaping from the specimen will be processed using suitable electrostatic electron optics and imaged on a multichannel planar detector. The method will be demonstrated on the observation of diffraction contrast on clean surfaces, on the quantum size contrast on thin films with different thickness and on the contrast on semiconductors with differently doped areas. For the experiments we will use a newly designed optical system with the cathode lens for deceleration of primary beam electrons to the very-low energy, Wien filter for the deflection of signal electrons away from the optical axis and electrostatic transfer lenses. For the acquisition of signal electrons a thinned back-side directly electron-bombarded CCD will be used. (en)
- Bude studován mechanismus vzniku kontrastu v rastrovacím elektronovém mikroskopu s velmi nízkou energií elektronů, založený na rozdílech v rozdělení signálních elektronů mezi jednotlivými body povrchu objemového vzorku. Signální elektrony vycházející ze vzorku pod různými úhly budou zpracovány vhodnou elektrostatickou elektronovou optikou a zobrazeny na mnohokanálový plošný detektor. Metoda bude ověřena pozorováním difrakčního kontrastu na čistých površích, kontrastu s dělenou amplitudou na tenkých vrstvách a kontrastu mezi různě dopovanými oblastmi polovodiče. Pro experimenty použijeme nově navržený optický systém s katodovou čočkou pro zbrždění elektronů primárního svazku na velmi nízkou energii, s Wienovým filtrem pro odklonění signálních elektronů od optické osy a s elektrostatickými transportními čočkami. Pro detekci signálních elektronů bude použit ztenčený ze zadní strany přímo elektrony bombardovaný CCD.
|
| Title
| - Coherent imaging of nanostructures in a low-energy scanning electron microscope with an area detector of electrons (en)
- Koherentní zobrazování nanostruktur v nízkoenergiovém rastrovacím elektronovém mikroskopu s plošným detektorem elektronů
|
| skos:notation
| |
| http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
| http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
| http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
| http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
| http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
| http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
| http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
| http://linked.open...hodnoceniProjektu
| |
| http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
| http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - low-energy scanning electron microscope; cathode lens; Wien filtr; electron bombarded CCD (en)
|
| http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
| http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
| http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
| http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
| http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
| http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
| http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
| http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
| http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
| http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
| http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
| http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
| http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
| http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
| http://linked.open.../cep/vedlejsiObor
| |
| http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
| http://linked.open...jektu+dodavatelem
| - Byl rekonstruován REM s velmi nízkou energií elektronů, byly provedeny experimenty zabývající se úhlovým rozdělením signálních elektronů, byl realizován nový způsob řízení předpětí vzorku v katodové čočce, byly připraveny modifikované autoemisní katody. (cs)
- The very-low energy SEM was newly designed, the experiments with angular distribution of the signal electrons were done, the new method of the specimen bias control in the cathode lens was implemented, the modified Schottky electron emitters were made. (en)
|
| http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
| http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - Wien filtr
- cathode lens
- low-energy scanning electron microscope
|
| is http://linked.open...vavai/riv/projekt
of | |
| is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)