About: A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition.

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition. Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=KJB100100805
Description	The proposed project sets a target to carry out a diagnostics of several discharges generated at just slightly reduced or even at atmospheric pressure. These plasmatic systems working with flowing channels - plasma jets were developed recently and succesfully tested in section of Optics of Institute of Physics ASCR. The plasma is generated by means of DC, RF (13.56 MHz) or microwave (2.45 GHz) discharge and/or combination of those. These systems were already applied for low-temperature deposition of , CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx thin films and further oxides at sample material surfaces, e.g. polymers. For broader application of those systems the systematic in-situ diagnostic of generated plasma seems to be necessary. The proposed project envisages development of time-resolved calorimetric and Langmuir probe, laser absorption and emission spectroscopy and development of basic model describing a energy transfer from plasma on a substrate. (en) Navrhovaný projekt si klade za cíl provádět diagnostiku několika zdrojů plazmatu generovaných za sníženého, případně i atmosférického tlaku. Tyto plazmatické systémy pracující s proudícími kanály - plazmatické trysky byly nedávno vyvinuty a úspěšně vyzkoušeny v sekci Optika Fzú AV ČR. Plasma v nich je generováno pomocí stejnosměrného, vysokofrekvenčního (13,56 MHz) nebo mikrovlnného (2,45 GHz) výboje, případně jejich kombinacemi. Tyto systémy byly již úspěšně použity pro nízkoteplotní vytváření vrstev TiNx, CuNx, ZnO, Li-ZnO, PZT, BTO, STO, BSTO, TiOx a dalších oxidů na površích různých materiálů, například polymerů. Pro širší uplatnění těchto systémů je však nutné provést systematickou in-situ diagnostiku generovaného plazmatu s cílem optimalizovat podmínky nanášení vrstev. Předpokládá se vývoj a použití časově rozlišené kalorimetrické a Langmuirovy sondy, laserové absorpční a emisní spektroskopie a vytvoření základního modelu přenosu energie z výboje do substrátu.
Title	A diagnostics of pulsed plasma generated in systems with plasma jets used for technological applications of thin film deposition. (en) Diagnostika pulzního plazmatu generovaného v systémech s plasmovými kanály určených pro technologické aplikace depozice tenkých vrstev.
skos:notation	KJB100100805
http://linked.open...avai/cep/aktivita	The research grant projects for juniors
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB100100805/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/KJB100100805/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2011-06-14 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	82504636
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	hollow cathode; plasma jet; calorimeter probe; Langmuir probe; emisive spectroscopy; laser absorption spectroscopy; time-resolved; thin film (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	12 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	12 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2010-03-09 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/KJB100100805
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2010
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2011
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SAV02008-B
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2010-12-31 (xsd:date)
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2008-01-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Plasma-jet and planar magnetron deposition systems were characterised by several diagnostics methods. One was showed that pulsing of plasma has significant influence on thin film properties. Further both depositing systems demonstrate different behaviour (en) Tryskové a magnetronové pulzní depoziční systémy byly charakterizovány pomocí několika diagnostických metod. Bylo ukázano, že pulzní modulace má významný vliv na vlastnosti připravovaných vrstev a navíc oba depoziční systémy vykazují rozdílné chování. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	hollow cathode Langmuir probe calorimeter probe emisive spectroscopy laser absorption spectroscopy plasma jet time-resolved
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Diagnostics method for time-resolved laser absorption spectroscopy in pulsed plasmas and measuring system for the implementation of this diagnostics method Double hollow cathode plasma jet-low temperature method for the TiO2-xNx photoresponding films Time-resolved investigation of dual high power impulse magnetron sputtering with closed magnetic field during deposition of Ti-Cu thin films Měřící systém pro diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou Měřící systém pro sondovou diagnostiku plazmatu Langmuirovou sondou Time-resolved tuned diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma Size-controlled formation of Cu nanoclusters in pulsed magnetron sputtering system Time-resolved diagnostics of dual high power impulse magnetron sputtering with pulse delays of 15 μs and 500 μs Time-resolved plasma parameters in the HiPIMS discharge with Ti target in Ar/O2 atmosphere Physical Properties of Homogeneous TiO2 Films Prepared by High Power Impulse Magnetron Sputtering as a Function of Crystallographic Phase and Nanostructure Comparative Study of Total Power Density at a Substrate in Pulsed DC Magnetron and Hollow-Cathode Plasma Jet Sputtering Systems A study of the ion flux during deposition of titanium thin films by hollow cathode plasma jet
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100805/2008/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100805/2009/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100805/2010/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/KJB100100805/2011/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software