About: Micro- and nanomachining structures fabricated by microelectronics technologies

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Micro- and nanomachining structures fabricated by microelectronics technologies Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP102/04/P162
Description	The proposed project facilitates an establishment of new technologies in the current thin-film laboratory at the BUT Department of Microelectronics. It will bring technology association of laboratories focused on techniques for fabrication of micro- and nanomachining systems in sensors and in semiconductor industry. The main benefit will be also to make technology available for requirements of Czech and foreign scientist laboratories. Techniques facilitating a realization of MEMS will be developed usingnew nanostructured materials and special attention will be focused on an utilisation of this materials and processes of the fabrication for masks of integrated circuits to achieve line resolution below 100 nm. We expect to develop techniques of a metal deposition via nanostructured mask. It gives us a modification possibilities of metal surface (e.g. electrodes), where better parameters of the planar form are expected, and for fabrication of nanocrystals used in solar techniques, and deposition of (en) Navrhovaný projekt umožní zavedení nových technologií ve stávající laboratoři tenkých vrstev Ústavu mikroelektroniky. Přinese technologické spojení více laboratoří se zaměřením na techniky pro výrobu mikro- a nanosystému pro senzorovou techniku a pro výrobu integrovaných obvodu. Hlavním přínosem bude také zpřístupnění této technologie pro potřeby českých, ale i zahraničních vědeckých pracovišť. Budou vyvinuty techniky umožňující realizaci systémů MEMS za pomocí zcela nových nanostrukturovaných materiálů a zvláštní pozornost bude věnována využití těchto materiálů a postupu jejich výroby při realizaci masek integrovaných obvodu s cílem snížit tloušťku cáry pod 100 nm. Očekává se výzkum a vývoj technik depozice kovu za použití nanostrukturní masky, jež umožní modifikaci povrchu (např. elektrod), kde se předpokládá zlepšení parametru planární formy realizace, dále pro vytváření nanokrystalu pro potřeby solární techniky, depozice oxidu pro senzory plynu nebo elektronické nosy apod.
Title	Micro- and nanomachining structures fabricated by microelectronics technologies (en) Mikro- a nanostruktury realizované v mikroelektronických technologiích
skos:notation	GP102/04/P162
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Post-graduate (doctorate) grants
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP102%2F04%2FP162/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP102%2F04%2FP162/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2007-10-16 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	2497672
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Neuvedeno. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta elektrotechniky a komunikačních technologií
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	14 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	14 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2006
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2004
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2006
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2007
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02004GA1PD
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JB - Senzory, čidla, měření a regulace
http://linked.open...jektu+dodavatelem	The project was focused on finding techniques for nanostructures fabrication through templates and on the creation of a network of cooperative working groups of ASCR. The first step was mastering of nanoporous template fabrication as well as its creation (en) Cílem práce bylo nalézt techniky vytváření nanostruktur pomocí masky a vytvořit síť spolupracujících pracovišť AVČR. V prvním dílčím kroku byla zvládnuta výroba nanoporézní masky a její vytváření na tenké vrstvě anodizací. Anodizace byla nejdříve ověřena (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Improved Anodization Technique of Nanostructure Fabrication Fabrication of Nickel Nanowires and Nanotubes by Template-Based Electrodeposition Method Nonlitographic Nanostructured Film Fabrication Nanostructures Fabrication using Self-Ordering Techniques Nanowires and nanotubes electroforming using nanoporous alumina New Approach to Electrochemical Sensor Electrodes Construction Selfordered Hexagonal Pore Structure of Anodized Alumina Depposited on Si Substrate New Microelectrodes for Electrochemical Application with Nanomachined Surface Fabrication of Nickel Nanostructures by Template-Based Electrodeposition Method and Analysis Template based technique for thin-film high surface formation by nanopillars Using a Porous Alumina Film as a Mask for Formation of Ordered Nanostructures by Deposition Technique Selfordered Pore Structure of Anodized Alumina Thin Film on Si Substrate Nanowires Electroforming of Nanoporous Electrodes Vytváření nanodrátků a nanotrubiček za použití anodizované keramiky jako masky.
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP102%2F04%2FP162/2004/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP102%2F04%2FP162/2005/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP102%2F04%2FP162/2006/orjk%3A26220 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP102%2F04%2FP162/2007/orjk%3A26220

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software