About: Process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates.     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • The process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates for achievement of minimal epitaxial layer thickness and resistivity variability as well as minimal count of surface Localized Light Scatterers (LLS). (en)
  • Proces pokročilého epitaxního růstu (AEPI) na 150 a 200 mm křemíkových substrátech umožňující dosažení minimální variability tloušťky a elektrického měrného odporu epitaxní vrstvy a minimálního počtu světlo rozptylujících defektů na povrchu desky.
  • Proces pokročilého epitaxního růstu (AEPI) na 150 a 200 mm křemíkových substrátech umožňující dosažení minimální variability tloušťky a elektrického měrného odporu epitaxní vrstvy a minimálního počtu světlo rozptylujících defektů na povrchu desky. (cs)
Title
  • Process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates.
  • Process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates. (cs)
  • Proces AEPI - pokročilý epitaxní růst na křemíkovém substrátu průměru 150 a 200 mm. (en)
skos:prefLabel
  • Process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates.
  • Process of Advanced Epitaxial Growth (AEPI) on 150 and 200 mm Silicon substrates. (cs)
  • Proces AEPI - pokročilý epitaxní růst na křemíkovém substrátu průměru 150 a 200 mm. (en)
skos:notation
  • RIV/26821532:_____/13:#0000061!RIV13-MPO-26821532
http://linked.open...avai/predkladatel
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(FR-TI3/031)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • Cena <100USD/AEPI deska
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 99942
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/26821532:_____/13:#0000061
http://linked.open...terniIdentifikace
  • AEPI
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • SIlicon wafer; Epitaxial wafer; Epitaxy; Thickness variability; Resistivity variability; Localized Light Scatterers (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [31BE8FA48199]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • 150&200 mm AEPI, LLS 100% of wafer - max. 30 >0.30 um, LLS 90% of wafer - max. 20 >0.30 um, TTV AEPI max. 2%, RRV AEPI max. 4%.
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Kostelník, Petr
  • Šik, Jan
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software