About: Novel plasma sources for film deposition and surface modification

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Novel plasma sources for film deposition and surface modification Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=OC10045
Description	The project is aimed at plasma technologies with a high application potential. Research will be mainly focused on fundamental aspects of magnetron operation in three novel high-power pulsed systems. They will be used for high-rate deposition of carbon-based films, various oxide and nitride films and for deposition of high-temperature Si-B-C-N films. (en) Cílem projektu je objasnění fyzikální podstaty činnosti tří nových magnetronových systémů pro rychlou depozici vrstev a pulzní magnetronové depozice vrstev na bázi uhlíku a nových vrstev Si-B-C-N s mimořádně vysokou teplotní stabilitou.
Title	Novel plasma sources for film deposition and surface modification (en) Nové plazmové zdroje pro depozici vrstev a modifikaci povrchů
skos:notation	OC10045
http://linked.open...avai/cep/aktivita	COST
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OC10045/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/OC10045/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2013-06-28 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	92928047
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Novel plasma sources; film deposition and surface modification; magnetron sputtering; high-power pulsed systems; carbon-based films; oxides and nitrides; high-temperature Si-B-C-N materials. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fakulta aplikovaných věd
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	13 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	13 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2012-02-27 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/1081%2F2011-320
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2012
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2013
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMSM2010OC5
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2012-12-31 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JI - Kompositní materiály JJ - Ostatní materiály
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2010-05-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Nestacionární model byl použit k objasnění procesu vysokovýkonové pulzní magnetronové depozice. Dva pulzní magnetronové systémy byly využity k přípravě nevodivých oxidů a oxynitridů Ta-O-N, vysokoteplotních materiálů Si-B-C-N a nanostrukturních vrstev Zr-B-C-N. Výsledky byly publikovány v 5 článcích v mezinárodních časopisech a prezentovány ve 12 příspěvcích na mezinárodních konferencích. (cs) Non-stationary model was used for explanation of high-power impulse magnetron sputtering. Two pulsed magnetron systems were used to prepare non-conductive oxides and Ta-O-N oxynitrides, high-temperature Si-B-C-N materials and nanostructured Zr-B-C-N films. The results were published in 5 papers in international journals and presented in 12 contributions at international conferences. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	magnetron sputtering carbon-based films film deposition and surface modification high-power pulsed systems oxides and nitrides Novel plasma sources
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Transparent Zr-Al-O oxide coatings with enhanced resistance to cracking Effect of the voltage pulse characteristics on high-power impulse magnetron sputtering of copper Elimination of Arcing in Reactive Sputtering of Al2O3 Thin Films Prepared by DC Pulse Single Magnetron Ion Flux Characteristics in Pulsed Dual Magnetron Discharges Used for Deposition of Photoactive TiO2 Films Thermal conductivity of high-temperature Si-B-C-N thin films A non-stationary model for high power impulse magnetron sputtering discharges Effect of ion bombarding energies on photocatalytic TiO2 films growing in a pulsed dual magnetron discharge Effect of the target power density on high power impulse magnetron sputtering of copper High-rate reactive deposition of transparent SiO2 films containing low amount of Zr from molten magnetron target Effect of nitrogen on tribological properties of amorphous carbon films alloyed with titanium Properties of nanocrystalline Al-Cu-O films reactively sputtered by DC pulse dual magnetron High-Rate Reactive Deposition of Transparent Zirconium Dioxide Films Using High-Power Pulsed DC Magnetron Sputtering Hard nanocrystalline Zr-B-C-N films with high electrical conductivity prepared by pulsed magnetron sputtering
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2010/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2011/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2012/orjk%3A23520 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/OC10045/2013/orjk%3A23520

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 46 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software