| Attributes | Values |
|---|
| rdf:type
| |
| rdfs:seeAlso
| |
| Description
| - Proposed project will be devoted to research and development of the new enviromentaly safe plasmatic technologies of thin films at the low temperatures of the substrate T< 80 deg C. New systems with plasma jets working at atmospheric pressures will be developed. Although research and development deals with these problematics, this technology was not satisfactory mastered up to now. Main effort will be concentrated on the speciál thin oxide films deposited on substrates with different thermal sensitivity. Particularly, TiO*, SiO* eventually Al2Ox and others similar thin films will be deposited, which are suitable and required in various branches of industry. Investigation of flow paterns near the jet output and substrate surface as well as 'In situ' measurement of plasma parameters and thin films properties will be correlated in order to optimize the deposition process. (en)
- Navrhovaný projekt bude zaměřen na výzkum a vývoj nových ekologických plazmatických technologií depozice tenkých vrstev při udržení nízkých teplot substrátu T < 80 st C. Vyvíjeny budou různé systémy s proudícími plazmovými kanály pracujících za atmosférického tlaku. Přestože výzkum a vývoj je v poslední době intenzivně zaměřen v tomto směru, problém těchto technologií nebyl dosud uspokojivě zvládnut. Pozornost bude zaměřena na tenké vrstvy speciálních oxidů deponovaných na různě tepelně senzitivní substráty. Konkrétně půjde především o TiOx, SiOx případně AbOx vrstvy, vhodné jako ochranné, tribologické a fotokatalitické vrstvy žádané pro různé průmyslové aplikace. Měření rozložení proudění u vyústění trysky a v blízkosti substrátu a vlastností plazmatu přímo při depozici spolu se studiem parametrů vrstev bude využito k optimalizaci depozičního procesu.
|
| Title
| - Investigation of new low temperature atmospheric pressure plasma sources for deposition of thin films (en)
- Studium nových nízkoteplotních plazmatických zdrojů pracujících za atmosférického tlaku z hlediska jejich využití pro depozice tenkých vrstev
|
| skos:notation
| |
| http://linked.open...avai/cep/aktivita
| |
| http://linked.open...kovaStatniPodpora
| |
| http://linked.open...ep/celkoveNaklady
| |
| http://linked.open...datumDodatniDoRIV
| |
| http://linked.open...i/cep/druhSouteze
| |
| http://linked.open...ep/duvernostUdaju
| |
| http://linked.open.../cep/fazeProjektu
| |
| http://linked.open...ai/cep/hlavniObor
| |
| http://linked.open...hodnoceniProjektu
| |
| http://linked.open...vai/cep/kategorie
| |
| http://linked.open.../cep/klicovaSlova
| - plasma technology; atmospheric pressure discharge; thin films (en)
|
| http://linked.open...ep/partnetrHlavni
| |
| http://linked.open...inujicichPrijemcu
| |
| http://linked.open...cep/pocetPrijemcu
| |
| http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu
| |
| http://linked.open.../pocetVysledkuRIV
| |
| http://linked.open...enychVysledkuVRIV
| |
| http://linked.open...lneniVMinulemRoce
| |
| http://linked.open.../prideleniPodpory
| |
| http://linked.open...iciPoslednihoRoku
| |
| http://linked.open...atUdajeProjZameru
| |
| http://linked.open.../vavai/cep/soutez
| |
| http://linked.open...usZobrazovaneFaze
| |
| http://linked.open...ai/cep/typPojektu
| |
| http://linked.open...ep/ukonceniReseni
| |
| http://linked.open...ep/zahajeniReseni
| |
| http://linked.open...jektu+dodavatelem
| - Během řešení projektu byl proveden výzkum a optimalizace nízkoteplotních plazmových systémů pracujícíhc za vyššího tlaku - atmosférický barrier-torch výboj, MW plazmový surfatron s proudícim plazmatem.a planární dielektrický barierový výboj. Atmosférický (cs)
- Low-temperature high-pressure plasma systems were investigated and optimized - atmospheric barrier-torch discharge, microwave surfatron with plasma flow and planar dielectric barrier discharge. The advantage of the atmospheric plasma torch was to deposit (en)
|
| http://linked.open...tniCyklusProjektu
| |
| http://linked.open.../cep/klicoveSlovo
| - plasma technology
- atmospheric pressure discharge
|
| is http://linked.open...vavai/riv/projekt
of | |
| is http://linked.open...vavai/cep/projekt
of | |
![[RDF Data]](/fct/images/sw-rdf-blue.png)
![[cxml]](/fct/images/cxml_doc.png)
![[csv]](/fct/images/csv_doc.png)
![[text]](/fct/images/ntriples_doc.png)
![[turtle]](/fct/images/n3turtle_doc.png)
![[ld+json]](/fct/images/jsonld_doc.png)
![[rdf+json]](/fct/images/json_doc.png)
![[rdf+xml]](/fct/images/xml_doc.png)
![[atom+xml]](/fct/images/atom_doc.png)
![[html]](/fct/images/html_doc.png)