About: Practical E-Beam Lithography

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Practical E-Beam Lithography Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	The book presents concepts of electron beam lithography and offers results of author's practical experience over thirty-year continuous activity in the field of e-beam lithography and related processes. (en) Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech. Kniha předkládá čtenáři základní koncepty elektronové litografie a autorovy praktické zkušenosti za období třicetileté soustavné činnosti v oboru elektronové litografie a souvisejících technologických postupech. (cs)
Title	Practical E-Beam Lithography (en) Praktická elektronová litografie Praktická elektronová litografie (cs)
skos:prefLabel	Practical E-Beam Lithography (en) Praktická elektronová litografie Praktická elektronová litografie (cs)
skos:notation	RIV/68081731:_____/13:00423948!RIV14-TA0-68081731
http://linked.open...avai/predkladatel	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	I P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	I, P(ED0017/01/01), P(TE01020233)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Matějka, František
http://linked.open.../riv/druhVysledku	B - Odborná kniha
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	98262
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081731:_____/13:00423948
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	e-beam lithography; e-beam resist; e-beam exposure (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	e-beam lithography e-beam exposure e-beam resist
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[049D8669E96C]
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Brno
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Praktická elektronová litografie
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...v/pocetStranKnihy	88 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC APPLICATION LABORATORIES OF ADVANCED MICROTECHNOLOGIES AND NANOTECHNOLOGIES
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Matějka, František
number of pages	88 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i
https://schema.org/isbn	978-80-87441-04-6

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software