About: Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	We present the design and performance characteristics of 6-axis interferometric measurement system for local probe microscopy. Described measurement tool was developed in colaboration with the Czech Metrological Institute in Brno and it is intended to solve as a national nanometrological standard. The system in based on a commercial nanopositioning sample table controlled by piezoelectric transducers, a metrological frame and a laser interferometric setup for dimensional measurements in six degrees of freedom. (en) Příspěvek prezentuje výsledky výzkumu na interferometrickém odměřovacím 6-osém systému pro mikroskopii s lokální sondou. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s Českým metrologickým institutem v Brně a je v sestavě s AFM mikroskopem (mikroskop atomárních sil) určeno k provozu jako národní nanometrologický etalon. Systém sestává z komerčního nanopolohovacího stolku řízeného piezoelektrickými aktuátory s možností polohování, metrologického rámu a laserem napájené interferometrické sestavy pro odměřování polohy ve všech šesti osách volnosti. Příspěvek prezentuje výsledky výzkumu na interferometrickém odměřovacím 6-osém systému pro mikroskopii s lokální sondou. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s Českým metrologickým institutem v Brně a je v sestavě s AFM mikroskopem (mikroskop atomárních sil) určeno k provozu jako národní nanometrologický etalon. Systém sestává z komerčního nanopolohovacího stolku řízeného piezoelektrickými aktuátory s možností polohování, metrologického rámu a laserem napájené interferometrické sestavy pro odměřování polohy ve všech šesti osách volnosti. (cs)
Title	Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii (cs) Multidimensional interferometric measuremenr system for AFM microscopy - national standard for nanometrology (en)
skos:prefLabel	Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii Multidimensionální interferometrický odměřovací systém pro AFM mikroskopii - národní etalon pro nanometrologii (cs) Multidimensional interferometric measuremenr system for AFM microscopy - national standard for nanometrology (en)
skos:notation	RIV/68081731:_____/13:00421263!RIV14-TA0-68081731
http://linked.open...avai/predkladatel	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	I P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	I, P(ED0017/01/01), P(EE2.4.31.0016), P(GPP102/11/P820), P(TA02010711), P(TE01020233)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Hrabina, Jan
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	90028
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/68081731:_____/13:00421263
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	interferometry; nanometrology; AFM (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	AFM interferometry nanometrology
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[B7B5E1262AFD]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	Třešť
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Brno
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Sborník příspěvků multioborové konference LASER53
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BH
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	1 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC APPLICATION LABORATORIES OF ADVANCED MICROTECHNOLOGIES AND NANOTECHNOLOGIES Interferometric measurement techniques for nanopositioning Advanced interferometric systems for measurement in nanotechnology MEDTECH - educational and research partner network in medicine, biomedicine and scientific instruments
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Hrabina, Jan
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	CST - Celostátní
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	2013-10-30 (xsd:date)
number of pages	2 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Ústav přístrojové techniky AV ČR, v. v. i
https://schema.org/isbn	978-80-87441-10-7

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software