About: High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe can be displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.
  • We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe can be displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring. (en)
  • Prezentujeme systém polohování vzorku pro různé typy mikroskopie s lokální sondou s interferometrickým měřením polohy. Polohování rozšiřuje významně rozsah zobrazení mikroskopie, kdy nejen sonda může být vychylována v malém rozsahu piezoelektrickými prvky, ale i vzorek může být posouván ve větším rozsahu. Polohovací stolek umožňuje polohování s nanometrovým rozlišením ve všech třech osách v režimu zpětnovazební regulace s měřením polohy kapacitními snímači. Interferometrický systém monitorování všech ve všech šesti stupních volnosti zajišťuje plnou metrologickou návaznost polohování na základní etalon délky a zlepšuje rozlišení a celkovou přesnost polohy. (cs)
Title
  • High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy
  • High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy (en)
  • Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou (cs)
skos:prefLabel
  • High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy
  • High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy (en)
  • Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou (cs)
skos:notation
  • RIV/68081731:_____/08:00314941!RIV09-AV0-68081731
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(2A-1TP1/127), P(2A-3TP1/113), P(2C06012), P(FT-TA3/133), P(GA102/07/1179), P(IAA200650504), P(LC06007), Z(AV0Z20650511)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 370138
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/68081731:_____/08:00314941
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • local probe microscopy; nanopositioning; interferometry; nanometrology (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [148355ABD3B3]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Singapore
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Bellingham
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Ninth International Symposium on Laser Metrology. (Proceedings of SPIE Vol. 7155)
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Lazar, Josef
  • Číp, Ondřej
  • Čížek, Martin
  • Šerý, Mojmír
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • SPIE
https://schema.org/isbn
  • 978-0-8194-7398-1
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 110 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software