About: Influence of N2 on GaN growth in inverse inlet configuration     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

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Description
  • Influence of N2 on GaN growth in inverse inlet configuration (en)
  • In der Literatur wird N\_2 als Trägergas u.a. nachgesagt die Morphologie und die strukturellen Eigenschaften des GaN zu verschlechtern. Für die Anwendung in High Electron Mobility Transistoren bedarf es aber Oberflächen mit geringer Rauhigkeit und ausgezeichneter struktureller Qualität. In diesem Beitrag wurde der Einfluss von N\_2 auf das Wachstum und die Schichteigenschaften systematisch untersucht. In einem AIX 200/4 RF-S Reaktor wurden Versuche bei verschiedenen Trägergasmischungen von H\_2 und N\_2 in der Hochtemperaturphase durchgeführt. Nukleation und Rekristallisation fanden in reiner Wasserstoffatmosphäre statt. Dabei musste sowohl der Gesamtfluss auf das Trägergasgemisch hin optimiert, als auch das Flussverhältnis und das V/III Verhältnis in der Gasphase variiert werden.Es wird gezeigt, dass sich trotz großer Mengen N\_2 im Trägergas Schichten hoher Qualität abscheiden lassen.
  • Vliv N2 jako nosného plynu na růst GaN v konfiguraci inverzního vstupu (cs)
Title
  • Influence of N2 on GaN growth in inverse inlet configuration (en)
  • Přednáška: Einfluss von N2 als Trägergas für GaN Wachstum im invertierten Einlass
  • Vliv N2 jako nosného plynu na růst GaN v konfiguraci inverzního vstupu (cs)
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  • Influence of N2 on GaN growth in inverse inlet configuration (en)
  • Přednáška: Einfluss von N2 als Trägergas für GaN Wachstum im invertierten Einlass
  • Vliv N2 jako nosného plynu na růst GaN v konfiguraci inverzního vstupu (cs)
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  • Sofer, Zdeněk
  • Hardtdegen, Hilde
  • Cho, Yong Suk
  • Kaluza, Nicoleta
  • Steins, Roger
  • Ahe, Martina von der
  • Thillosen, Nicolas
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  • 22310
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