Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
Description
| - Novel quaternary Si-B-C-N materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature and harsh-environment applications. In the present work, amorphous Si-B-C-N films were deposited on Si and SiC substrates by reactive dc magnetron co-sputtering using a single C-Si-B or B4C-Si target in nitrogen-argon gas mixtures. Films deposited under optimized conditions (B4C-Si target, 50% N2 + 50% Ar gas mixture) exhibited extremely high oxidation resistance in air at elevated temperatures (even above 1500°C). Formation of protective surface layers (mainly composed of Si and O) was proved by high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Rutheford backscattering spectrometry (RBS) and X-ray diffraction (XRD) measurements after oxidization.
- Novel quaternary Si-B-C-N materials are becoming increasingly attractive because of their possible high-temperature and harsh-environment applications. In the present work, amorphous Si-B-C-N films were deposited on Si and SiC substrates by reactive dc magnetron co-sputtering using a single C-Si-B or B4C-Si target in nitrogen-argon gas mixtures. Films deposited under optimized conditions (B4C-Si target, 50% N2 + 50% Ar gas mixture) exhibited extremely high oxidation resistance in air at elevated temperatures (even above 1500°C). Formation of protective surface layers (mainly composed of Si and O) was proved by high-resolution transmission electron microscopy (HRTEM), Rutheford backscattering spectrometry (RBS) and X-ray diffraction (XRD) measurements after oxidization. (en)
- Nové materiály kvaternárního systému Si-B-C-N jsou velmi zajímavé pro jejich možné využití za vysokých teplot a v agresivním prostředí. V této práci byly připraveny vrstvy Si-B-C-N na substráty Si a SiC za použití reaktivního dc magnetronového naprašování z terčů C-Si-B a B4C-Si v dusíko-argonové plynné směsi. Vrstvy připravené za optimalizovaných podmínek (terč B4C-Si, plynná směs 50% N2 + 50% Ar) vykazovaly extrémně vysokou oxidační odolnost ve vzduchu při zvýšených teplotách (dokonce nad 1500°C). Vytváření ochranných povrchových vrstev (skládajících se převážně z Si a O) během oxidace bylo potvrzeno pomocí transmisního elektronového mikroskopu s vysokým rozlišením (HRTEM), analýzy pružně rozptýlených nabitých částic (RBS) a rentgenové difrakce. (cs)
|
Title
| - Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air
- Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air (en)
- Tvrdé amorfní vrstvy Si-B-C-N s ultravysokou teplotní stabilitou ve vzduchu (cs)
|
skos:prefLabel
| - Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air
- Hard Amorphous Si-B-C-N Films with Ultra-High Thermal Stability in Air (en)
- Tvrdé amorfní vrstvy Si-B-C-N s ultravysokou teplotní stabilitou ve vzduchu (cs)
|
skos:notation
| - RIV/49777513:23520/08:00501289!RIV09-MSM-23520___
|
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/49777513:23520/08:00501289
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Si-B-C-N films; magnetron sputtering; oxidation resistance; thermal stability (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
| |
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
| |
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
| - Technical Conference Proceedings
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Zeman, Petr
- Vlček, Jaroslav
- Čerstvý, Radomír
- Čapek, Jiří
- Hřeben, Stanislav
- Kalaš, Jiří
|
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
| |
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
| |
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
| |
issn
| |
number of pages
| |
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
| - Society of Vacuum Coaters
|
http://localhost/t...ganizacniJednotka
| |
is http://linked.open...avai/riv/vysledek
of | |