About: Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Studie se zabývá teplotní stabilitou struktury a mechanických vlastností vrstev Zr-Si-N s vysokým obsahem Si (?25 at.%) deponovaných z keramického terče ZrSi2 reaktivním magnetronovým naprašováním. Bylo zjištěno, že fázové složení vrstev silně ovlivňuje jejich teplotní stabilitu. Mikrotvrdost připravených vrstev Zr-Si-N není dána makropnutím, ale jejich vnitřní strukturou. Krystalizace rentgenově amorfních vrstev závisí na fázovém složení vrstev, okolní atmosféře a na difúzi prvků substrátu do vrstvy během ohřevu. Vrstvy Zr-Si-N s amorfní strukturou obsahující vysoký obsah Si3N4 fáze (?50 obj.%) vykazují nejvyšší teplotní stabilitu značně převyšující 1000°C. (cs)
  • The article reports on thermal stability of the structure and mechanical properties of Zr-Si-N films with a high Si content deposited from a ceramic ZrSi2 target by reactive magnetron sputtering. The annealed films were characterized using X-ray diffraction, microhardness and macrostress measurements, and differential scanning calorimetry. Special attention was devoted to the influence of the annealing temperatutre (up to 1600°C), annealing environment and presence of the substrate. It was found that the phase composition of the films strongly influences in the thermal stability.
  • The article reports on thermal stability of the structure and mechanical properties of Zr-Si-N films with a high Si content deposited from a ceramic ZrSi2 target by reactive magnetron sputtering. The annealed films were characterized using X-ray diffraction, microhardness and macrostress measurements, and differential scanning calorimetry. Special attention was devoted to the influence of the annealing temperatutre (up to 1600°C), annealing environment and presence of the substrate. It was found that the phase composition of the films strongly influences in the thermal stability. (en)
Title
  • Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films
  • Teplotní stabilita vrstev Zr-Si-N připravených magnetronovým naprašováním (cs)
  • Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films (en)
skos:prefLabel
  • Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films
  • Teplotní stabilita vrstev Zr-Si-N připravených magnetronovým naprašováním (cs)
  • Thermal stability of magnetron sputtered Zr-Si-N films (en)
skos:notation
  • RIV/49777513:23520/06:00000059!RIV07-GA0-23520___
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 3368
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(GP106/03/D009), Z(MSM4977751302)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika
  • 0
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 503766
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49777513:23520/06:00000059
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • Zr-Si-N films; high Si3N4 content; thermal stability; crystallization; magnetron sputtering (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...odStatuVydavatele
  • US - Spojené státy americké
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [2C46A0380815]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Surface and Coatings Technology
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Musil, Jindřich
  • Zeman, Petr
  • Daniel, Rostislav
  • Mitterer, Christian
http://linked.open...n/vavai/riv/zamer
issn
  • 0257-8972
number of pages
http://localhost/t...ganizacniJednotka
  • 23520
is http://linked.open...avai/riv/vysledek of
Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software