About: Verified technology of thin dielectric layers application on silicon substrate deposited by modified PVD (Physical Vapor Deposition).     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition), která v sobě zahrnuje možnost plazmochemického čištění povrchu s následným naprášením tenké vrstvy. Proces bude uskutečňován v jednom pracovním cyklu. Hlavní předností technologie je vysoká homogenita nanášených vrstev, procesní variabilita a velmi dobrá kontrolovatelnost depozice.
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition), která v sobě zahrnuje možnost plazmochemického čištění povrchu s následným naprášením tenké vrstvy. Proces bude uskutečňován v jednom pracovním cyklu. Hlavní předností technologie je vysoká homogenita nanášených vrstev, procesní variabilita a velmi dobrá kontrolovatelnost depozice. (cs)
  • Verified technology of thin dielectric layers application on silicon substrate deposited by modified PVD (Physical Vapor Deposition), which implies the possibility of plasma surface cleaning followed by sputtering a thin layer. The process will be carried out in one operation. A main advantage of the technology is a high homogenity of deposited layers, process variability and very good controllability of deposition. (en)
Title
  • Verified technology of thin dielectric layers application on silicon substrate deposited by modified PVD (Physical Vapor Deposition). (en)
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition).
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition). (cs)
skos:prefLabel
  • Verified technology of thin dielectric layers application on silicon substrate deposited by modified PVD (Physical Vapor Deposition). (en)
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition).
  • Ověřená technologie nanášení tenkých dielektrických vrstev (nm) na křemíkové substráty modifikovanou technologií PVD (Physical Vapor Deposition). (cs)
skos:notation
  • RIV/49610040:_____/13:*0000111!RIV14-MPO-49610040
http://linked.open...avai/predkladatel
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(FR-TI1/603)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...onomickeParametry
  • Ověřená technologie bude využita realizátorem výsledku při řešení komerčních zakázek na výrobu zákaznických solárních článků a FV modulů. Dále bude technologie využita realizátorem pro vývoj nových pokročilých technologií výroby solárních článků s vysokou konverzní účinností.
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 94928
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/49610040:_____/13:*0000111
http://linked.open...terniIdentifikace
  • 1-01-024
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open...vai/riv/kategorie
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • solar cell; PVD; sputtering; dielectric layers (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [66B90455C000]
http://linked.open.../licencniPoplatek
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...echnickeParametry
  • Ověřená technologie byla realizována za pomoci modifikovaného depozičního zařízení pracujícího na principu depozice z pevné fáze (PVD). Výsledek slouží k vlastnímu využití a byla podepsána Smlouva o využití výsledků výzkumu a vývoje 2012/FR-TI1/603, s MPO ze dne 26.3.2013 . Kontaktní osoba: Ing. Renáta Zetková, tel: 601375825, email: renata.zetkova@solartec.cz
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Bařinka, Radim
  • Sobota, Jaroslav
  • Čech, Pavel
  • Vyskočil, Jiří
  • Kadlec, Stanislav
  • Hégr, Ondřej
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
http://linked.open...itiJinymSubjektem
Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software