About: Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=FR-TI1/603
Description	At present, the passivation and antireflection layers of crystalline silicon solar cells (produced by Solartec) are realized by stoichiometric silicon nitride (Si3N4) films grown on silicon substrate under low pressure and relative high temperature conditions from the gas mixture of dichlorsilane and ammonia. During this LP CVD process electronic properties of the silicon wafers usually degrade mainly due to high temperature. Proposed project deals with deposition of such layers by a new technology based on the magnetron sputtering system. Under conditions of low-temperature plasma a broad-spectrum of suitable materials can be deposited by this well-controllable process depending on the sputtering targets used. Research of the in-situ non-chemical cleaning of silicon wafers by means of hydrogen radicals generated by plasma just before the deposition process is another complementary part of this project. (en) Pasivační a antireflexní vrstvy solárních článků vyráběných firmou Solartec jsou v současnosti realizovány stechiometrickým nitridem křemíku (Si3N4), rostoucím na křemíkových substrátech za podmínek nízkého tlaku a velmi vysokých teplot (900C) z plynné fáze dichlorsilanu a čpavku. Vysoké procesní teploty mají za následek nevratnou degradaci elektronických vlastností výchozích substrátů, které v důsledku výrazně omezují výslednou účinnost solárního článku. Předkládaný projekt řeší problematiku depozice tenkých pasivačních a antireflexních vrstev výzkumem v oblasti technologie, založené na bázi magnetronového naprašování. V podmínkách nizkoteplotního plazmatu je možné realizovat depozice široké škály vhodných materiálů, kde výhodou je především kontrolovatelnost celého procesu, určení přesného složení vytvářených vrstev a snadná reprodukovatelnost. Součástí projektu je i výzkum nechemického čištění křemíkových desek těsně před depozicí za pomoci vodíkových radikálů aktivovaných plazmatem.
Title	Effective coating technology of thin passivation and antireflection layers for production of crystalline solar cells (en) Implementace efektivní technologie nanášení tenkých pasivačních a antireflexních vrstev do výroby krystalických solárních článků
skos:notation	FR-TI1/603
http://linked.open...avai/cep/aktivita	TIP
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/FR-TI1%2F603/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/FR-TI1%2F603/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2014-07-17 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	100578694
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...hodnoceniProjektu	U - Uspěl podle zadání, tj. byly splněny cíle a jeho předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory
http://linked.open...vai/cep/kategorie	AP - Aplikovaný výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	magnetron sputtering; passivation layers; antireflection coating; plasma-etching; thin layers; sputtered layers; crystalline silicon solar cells; photovoltaic (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Solartec
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	2 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	10 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	10 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2013-03-29 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/FR-TI1%2F603
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2013
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2014
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMPO2009/01
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2013-09-30 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	JP - Průmyslové procesy a zpracování
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2009-10-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	Proved technologies of plasmochemical cleaning and sputtering of thin dielectric antifeflection and passivation layers on surfaces of crystalline silicon solar cells dedicated for aesthetic application are the results of project. (en) Výsledkem řešení projektu jsou ověřené technologie plazmo-chemického čištění povrchu a naprašování tenkých dialektrických antireflexních a pasivačních vrstev na povrchy krystalických křemíkových lolárních článků určencých pro estetické aplikace. (cs)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBBBKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	magnetron sputtering antireflection coating crystalline silicon solar cells passivation layers plasma-etching sputtered layers thin layers
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Depos Verified technology of thin dielectric layers application on silicon substrate deposited by modified PVD (Physical Vapor Deposition). The prototype of the solar cell with sputtered Si3N4 layer on the foreside The prototype of the solar cell with sputtered Al2O3 layer on the backside Comparison of Aluminum Oxide Layers Deposited by PECVD and Pulsed Magnetron Sputtering for Dielectric Rear Side Passivation of Crystalline Silicon Solar Cells Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů č. CZ 26777 U1. Způsob unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na povrch substrátů a rotační stolek pro unášení substrátů podle způsobu. Balance of power delivered to magnetrons in bipolar pulsed sputtering of aluminum oxide in high frequency mode and HIPIMS Modifikovaný experimentální naprašovací systém OKS Negatively Charged Al2O3 Layers Deposited by Magnetron Sputteringand Vacuum Evaporation for Crystalline Silicon Solar Cell BSF
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2009/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2009/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2009/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2010/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2010/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2010/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2011/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2011/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2011/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2012/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2012/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2012/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2013/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2013/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2013/ico%3A68081731 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2014/ico%3A45309787 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2014/ico%3A49610040 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/FR-TI1%2F603/2014/ico%3A68081731

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 48 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software