Attributes | Values |
---|
rdf:type
| |
rdfs:seeAlso
| |
Description
| - Rotary table for carrying of substrates for deposition of thin films on exposed substrate surfaces in vacuum from at least one source of particles, providing homogeneous coating on tilted rotating planets. The rotary table is suitable for the coating of different substrates, for example solar cells, at experimental or pilot applications, but also in mass production. The use of rotary table can transfer batch coaters with magnetrons or arcs to a device with a better homogeneity of layers, or at the same time with higher capacity at relatively low costs. The solution can be used for metallic coating on flat parts, transparent substrates for optical coatings, silicon wafers etc. (en)
- Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů ve vakuu z alespoň jednoho zdroje částic, přičemž dochází k homogennímu povlakování na šikmo rotující planety. Rotační stolek je vhodný pro povlakování různých substrátů, napříkad solárních článků, pro experimentální nebo poloprovozní aplikace, ale i do provozů s velkoobjemovou výrobou. Použití rotačního stolku dokáže dávková depoziční zařízení s magnetrony či obloukypřeměnit na zařízení s lepší homogenitou vrstev, případně zároveň s vyšší kapacitou a to s relativně malými náklady. Řešení lze použít pro povlakování plochých dílů kovovými vrstvami, průhledných substrátů pro optické vrstvy, křemíkových desek pro elektroniku apod.
- Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů ve vakuu z alespoň jednoho zdroje částic, přičemž dochází k homogennímu povlakování na šikmo rotující planety. Rotační stolek je vhodný pro povlakování různých substrátů, napříkad solárních článků, pro experimentální nebo poloprovozní aplikace, ale i do provozů s velkoobjemovou výrobou. Použití rotačního stolku dokáže dávková depoziční zařízení s magnetrony či obloukypřeměnit na zařízení s lepší homogenitou vrstev, případně zároveň s vyšší kapacitou a to s relativně malými náklady. Řešení lze použít pro povlakování plochých dílů kovovými vrstvami, průhledných substrátů pro optické vrstvy, křemíkových desek pro elektroniku apod. (cs)
|
Title
| - Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů č. CZ 26777 U1.
- Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů č. CZ 26777 U1. (cs)
- Rotary table for carrying of substrates for deposition of thin films on exposed substrate surfaces, utility model no. CZ 26777 U1. (en)
|
skos:prefLabel
| - Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů č. CZ 26777 U1.
- Rotační stolek pro unášení substrátů při depozici tenké vrstvy na exponovaný povrch substrátů č. CZ 26777 U1. (cs)
- Rotary table for carrying of substrates for deposition of thin films on exposed substrate surfaces, utility model no. CZ 26777 U1. (en)
|
skos:notation
| - RIV/45309787:_____/14:#0000007!RIV14-MPO-45309787
|
http://linked.open...avai/predkladatel
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivita
| |
http://linked.open...avai/riv/aktivity
| |
http://linked.open...cisloPatentuVzoru
| |
http://linked.open...eleniPatentuVzoru
| |
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
| |
http://linked.open...aciTvurceVysledku
| |
http://linked.open.../riv/druhVysledku
| |
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
| |
http://linked.open...titaPredkladatele
| |
http://linked.open...dnocenehoVysledku
| |
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
| - RIV/45309787:_____/14:#0000007
|
http://linked.open...riv/jazykVysledku
| |
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
| - Rotary planetary table (en)
|
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
| |
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
| |
http://linked.open.../licencniPoplatek
| |
http://linked.open...ydaniPatentuVzoru
| |
http://linked.open...atelePatentuVzoru
| - Úřad průmyslového vlastnictví
|
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
| |
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
| |
http://linked.open...vavai/riv/projekt
| |
http://linked.open...UplatneniVysledku
| |
http://linked.open...ydaniPatentuVzoru
| |
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
| - Vyskočil, Jiří
- Kadlec, Stanislav
- Plíhal, Petr
|
http://linked.open...mniOchranaPatentu
| |
http://linked.open...avai/riv/vlastnik
| |
http://linked.open...itiJinymSubjektem
| |
http://linked.open...uzitiPatentuVzoru
| |