About: A prototype of RFgenerator 40kHz, 450kHz and 13,56MHz for plasma excitation

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: A prototype of RFgenerator 40kHz, 450kHz and 13,56MHz for plasma excitation Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Prototypes of power generators for plasma ignition on frequency of 40kHz, 450kHz and 13,56MHz were developed in SVCS Process Innovation s.r.o. and afterwards they were implemented into PECVD reactor. (en) Ve společnosti SVCS Process Innovation s.r.o. byly vyvinuty prototypy generátorů z pro buzení plazmy na frekvencích 40kHz, 450kHz a 13,56MHz, které se následně implementovali do PECVD reaktoru jako zdroje pro buzení plazmatického vývoje. Ve společnosti SVCS Process Innovation s.r.o. byly vyvinuty prototypy generátorů z pro buzení plazmy na frekvencích 40kHz, 450kHz a 13,56MHz, které se následně implementovali do PECVD reaktoru jako zdroje pro buzení plazmatického vývoje. (cs)
Title	A prototype of RFgenerator 40kHz, 450kHz and 13,56MHz for plasma excitation (en) Prototyp vf generátoru 40kHz, 450kHz a 13,56MHz pro buzení plazmy Prototyp vf generátoru 40kHz, 450kHz a 13,56MHz pro buzení plazmy (cs)
skos:prefLabel	A prototype of RFgenerator 40kHz, 450kHz and 13,56MHz for plasma excitation (en) Prototyp vf generátoru 40kHz, 450kHz a 13,56MHz pro buzení plazmy Prototyp vf generátoru 40kHz, 450kHz a 13,56MHz pro buzení plazmy (cs)
skos:notation	RIV/27711170:_____/11:#0000026!RIV13-MPO-27711170
http://linked.open...avai/predkladatel	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(FR-TI1/619)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2013
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Štěpánek, Jaroslav Petřvalský, Aleš Piják, Anton Pitrun, Jiří Lukašík, Pavel Mareš, Gustav Rek, Štěpán Vaněk, Jan Klanica, Tomáš Dolák, Jaroslav Joštic, Miroslav Pobořil, Ladislav Šrámek, Miroslav Konečný, Ladislav
http://linked.open.../riv/druhVysledku	G/A - Prototyp
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open...onomickeParametry	Zavedením výroby a prodeje RF generátorů vznikne nový segment v produktové řadě společnost SVCS Process Innovation s.r.o.. Předpokládané výnosy z komercionalizace tohoto produktu by měly činit cca 3% ročního obratu firmy.
http://linked.open...titaPredkladatele	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...dnocenehoVysledku	224910
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/27711170:_____/11:#0000026
http://linked.open...terniIdentifikace	SV-VFGEN450kHz-2010
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open...vai/riv/kategorie	A - Do 5 mil. Kč
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	RF generator; plasma enhanced chemical vapour deposition; deposition; semiconductor industry; photovoltaic industry (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	deposition RF generator photovoltaic industry plasma enhanced chemical vapour deposition semiconductor industry
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[E7D550439E7F]
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	JA
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	14 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	18 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	*Technology Modification for Deposition of Passivation and Antireflective Coatings by the Method of PECVD for the Condition of Vertical Reactor
http://linked.open...UplatneniVysledku	2011
http://linked.open...echnickeParametry	K základním technickým parametrům generátorů patří stabilita vf výkonu, plynulost řízení výkonu, plynulost nastavení střídy, funkce pulsního spínání výkonu - on/off. Generátory jsou vybaveny přizpůsobovací jednotkou (optimalizuje nastavení generátoru pro maximální přenášený výkon na lodičku). Výsledek byl vyzkoušen a ověřen pro zavedení do výroby. Výsledek je využíván pouze příjemcem dle smlouvy O Využití výsledků výzkumu a vývoje č. 2012/FR-TI1/619 ze dne 28.12.2012 uzavřené s MPO. Kontaktní osoba Bc. Zuzana Andrisová, 775 757 201, zandrisova@svcs.cz
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Vaněk, Jan Dolák, Jaroslav Halmazňa, Jiří Joštič, Miroslav Klanica, Tomáš Konečný, Ladislav Lukašík, Pavel Mareš, Gustav Petřvalský, Aleš Piják, Anton Pitrun, Jiří Pobořil, Ladislav Poruba, A. Rek, Štěpán Tomčík, L. Čech, P. Šrámek, Miroslav Štěpánek, Jaroslav
http://linked.open...avai/riv/vlastnik	SVCS Process Innovation s.r.o.
http://linked.open...itiJinymSubjektem	N - Nabytí licence není nutné (výsledek není licencován)

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 78 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software