About: Development of hot zones for Czochralski pulling     Goto   Sponge   NotDistinct   Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

AttributesValues
rdf:type
Description
  • We document the new hot zone development for Czochralski silicon crystal pulling. With addition of graphite cone and top ring we reach flatter solid/liquid interface with corresponding better radial homogeneity of impurities distribution in ingot. Our new hot zone solution also induces significantly lower argon , heater power, cooling water consumption. Generally we can increase pulling speed of growing ingot and slightly decrease safety diameter of ingot (with respect to specified final diameter of ingot). We discussed also changes in bulk parameters of pulled ingots (oxygen content, radial homogeneity of impurities, bulk-microdefect distribution). (cs)
  • Dokumentujeme vývoj nové topné zóny pro Czochralskiho tažení monokrystalů křemíku. Přidáním grafitového cone a horního grafitového kruhu dosáhneme ploššího fázového rozhraní a tomu odpovídá zvýšení radiální homogenity příměsí v krystalu. Naše nové řešení topné zóny přináší rovněž výrazné snížení spotřeby argonu, příkonu topidla a spotřeby chladící vody. Obecně je možné také zvýšit rychlost tažení krystalu a zároveň mírně snížit bezpečný průměr taženého krystalu (blíže k zadanému konečnému průměru krystalu). Věnujeme pozornost také objemovým vlastnostem tažených krystalů (obsah kyslíku, radiální homogenity rozložení příměsí, distribuce mikrodefektů).
  • Dokumentujeme vývoj nové topné zóny pro Czochralskiho tažení monokrystalů křemíku. Přidáním grafitového cone a horního grafitového kruhu dosáhneme ploššího fázového rozhraní a tomu odpovídá zvýšení radiální homogenity příměsí v krystalu. Naše nové řešení topné zóny přináší rovněž výrazné snížení spotřeby argonu, příkonu topidla a spotřeby chladící vody. Obecně je možné také zvýšit rychlost tažení krystalu a zároveň mírně snížit bezpečný průměr taženého krystalu (blíže k zadanému konečnému průměru krystalu). Věnujeme pozornost také objemovým vlastnostem tažených krystalů (obsah kyslíku, radiální homogenity rozložení příměsí, distribuce mikrodefektů). (en)
Title
  • Development of hot zones for Czochralski pulling
  • Development of hot zones for Czochralski pulling (en)
  • Vývoj topných zón pro Czochralskiho tažení (cs)
skos:prefLabel
  • Development of hot zones for Czochralski pulling
  • Development of hot zones for Czochralski pulling (en)
  • Vývoj topných zón pro Czochralskiho tažení (cs)
skos:notation
  • RIV/26821532:_____/06:#0000001!RIV08-MPO-26821532
http://linked.open.../vavai/riv/strany
  • 34-35
http://linked.open...avai/riv/aktivita
http://linked.open...avai/riv/aktivity
  • P(FI-IM2/131)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat
http://linked.open...aciTvurceVysledku
http://linked.open.../riv/druhVysledku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju
http://linked.open...titaPredkladatele
http://linked.open...dnocenehoVysledku
  • 471304
http://linked.open...ai/riv/idVysledku
  • RIV/26821532:_____/06:#0000001
http://linked.open...riv/jazykVysledku
http://linked.open.../riv/klicovaSlova
  • silicon, Czochralski, hot zone, crystal, pulling (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo
http://linked.open...ontrolniKodProRIV
  • [3DFE34627FCC]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce
  • Valtice
http://linked.open...i/riv/mistoVydani
  • Praha
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje
  • Proceedings of the 16th Joint Seminar Development of Materials Science in Research and Education
http://linked.open...in/vavai/riv/obor
http://linked.open...ichTvurcuVysledku
http://linked.open...cetTvurcuVysledku
http://linked.open...vavai/riv/projekt
http://linked.open...UplatneniVysledku
http://linked.open...iv/tvurceVysledku
  • Lorenc, Michal
  • Válek, Lukáš
  • Šik, Jan
http://linked.open...vavai/riv/typAkce
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce
number of pages
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher
  • Czech and Slovak Crystallographic Association
https://schema.org/isbn
  • 80-901748-7-6
Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024


Alternative Linked Data Documents: ODE     Content Formats:   [cxml] [csv]     RDF   [text] [turtle] [ld+json] [rdf+json] [rdf+xml]     ODATA   [atom+xml] [odata+json]     Microdata   [microdata+json] [html]    About   
This material is Open Knowledge   W3C Semantic Web Technology [RDF Data] Valid XHTML + RDFa
OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software