About: Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Chemické leptání patří mezi velmi používané metody modifikace povrchu mnoha materiálů, které je využíváno jak v průmyslu, tak i v základním výzkumu. Tento článek pojednává o přípravě povrchových struktur selektivním mokrým leptáním Si(100) přes masku, jež je vytvořena pomocí metod elektronové a iontové litografie. Tyto metody s vysokým rozlišením v kombinaci s leptáním za použití vodného roztoku hydroxidu draselného (KOH) umožňují získat struktury rozdílných tvarů a rozměrů jak v mikrometrovém, tak i nanometrovém měřítku. Chemické leptání patří mezi velmi používané metody modifikace povrchu mnoha materiálů, které je využíváno jak v průmyslu, tak i v základním výzkumu. Tento článek pojednává o přípravě povrchových struktur selektivním mokrým leptáním Si(100) přes masku, jež je vytvořena pomocí metod elektronové a iontové litografie. Tyto metody s vysokým rozlišením v kombinaci s leptáním za použití vodného roztoku hydroxidu draselného (KOH) umožňují získat struktury rozdílných tvarů a rozměrů jak v mikrometrovém, tak i nanometrovém měřítku. (cs) Chemical etching is widely utilized method for surface modification of many materials and is used both in industry and in basic research. This article deals with the preparation of surface structures by selective wet etching of Si(100) through a mask created by electron and ion beam lithography. Combining these high-resolution patterning techniques with etching using an aqueous solution of potassium hydroxide (KOH) allows to obtain structures with different shapes and sizes, both at micrometer and nanometer scale. (en)
Title	Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching (en) Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku (cs)
skos:prefLabel	Preparation of micro and nanostructures by selective Si wet etching (en) Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku Příprava mikro a nanostruktur pomocí selektivního mokrého leptání křemíku (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26620/14:PU110040!RIV15-MSM-26620___
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P S
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(ED1.1.00/02.0068), P(GAP102/12/1881), P(TE01020233), S
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	6-7
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2015
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Šamořil, Tomáš Šikola, Tomáš Metelka, Ondřej
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Středoevropský technologický institut
http://linked.open...dnocenehoVysledku	39488
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26620/14:PU110040
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Silicon, Electron lithography, Focussed ion beam, selective wet etching (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	Silicon Electron lithography Focussed ion beam selective wet etching
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[39B4C8A4C21B]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC Central european institute of technology Mapping of Localized Plasmon Resonances at Nanoantennas
http://linked.open...UplatneniVysledku	2014
http://linked.open...v/svazekPeriodika	59
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Šamořil, Tomáš Šikola, Tomáš Metelka, Ondřej
issn	0447-6441
number of pages	4 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26620

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software