About: Device for analysis of silicon wafers

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Device for analysis of silicon wafers Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	Cílem této práce bylo vytvořit zařízení pro analýzu defektů (vrstevných chyb) na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zařízení je schopno automaticky analyzovat desky až do průměru 200 mm. Sestává z optického mikroskopu, polohovacího motorizovaného xy stolku, obslužné elektroniky a ovládacího a vyhodnocovacího softwaru, který dokáže defekty na desce rozpoznat, lokalizovat a charakterizovat. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s firmou ON Semiconductor ČR. Cílem této práce bylo vytvořit zařízení pro analýzu defektů (vrstevných chyb) na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zařízení je schopno automaticky analyzovat desky až do průměru 200 mm. Sestává z optického mikroskopu, polohovacího motorizovaného xy stolku, obslužné elektroniky a ovládacího a vyhodnocovacího softwaru, který dokáže defekty na desce rozpoznat, lokalizovat a charakterizovat. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s firmou ON Semiconductor ČR. (cs) The aim of this work was a design of the device for defects analysis (stacking faults) of silicon wafer manufactured by Czochralski method. This device can analyze wafers of diameter up to 200 mm automatically. Hardware consists of optical microscope, positioning motorized xy stage, control electronics. Controlling and evaluating software, which has been developed as well, identifies, localizes and characterizes wafer defects. The device was developed in co-operation with company ON Semiconductor, Czech Republic. (en)
Title	Device for analysis of silicon wafers (en) Zařízení pro analýzu křemíkových desek Zařízení pro analýzu křemíkových desek (cs)
skos:prefLabel	Device for analysis of silicon wafers (en) Zařízení pro analýzu křemíkových desek Zařízení pro analýzu křemíkových desek (cs)
skos:notation	RIV/00216305:26620/13:PU104390!RIV14-TA0-26620___
http://linked.open...avai/predkladatel	Středoevropský technologický institut
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(ED1.1.00/02.0068), P(GAP102/12/1881), P(TE01020233)
http://linked.open...iv/cisloPeriodika	6
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2014
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Šulc, Dalibor Wertheimer, Pavel Šikola, Tomáš Válek, Lukáš
http://linked.open.../riv/druhVysledku	J - Článek v odborném periodiku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Vysoké učení technické v Brně / Středoevropský technologický institut
http://linked.open...dnocenehoVysledku	118087
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216305:26620/13:PU104390
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	Si wafer, measurement device, positioning (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	positioning Si wafer measurement device
http://linked.open...odStatuVydavatele	CZ - Česká republika
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[CDCE75DD8BD5]
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Jemná mechanika a optika
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BM
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	4 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	5 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Advanced Microscopy and Spectroscopy Platform for Research and Development in Nano and Microtechnologies - AMISPEC Central european institute of technology Mapping of Localized Plasmon Resonances at Nanoantennas
http://linked.open...UplatneniVysledku	2013
http://linked.open...v/svazekPeriodika	58
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Šikola, Tomáš Válek, Lukáš Šulc, Dalibor Páleníček, Michal Wertheimer, Pavel
issn	0447-6441
number of pages	3 (xsd:int)
http://localhost/t...ganizacniJednotka	26620

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 67 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software