About: PECVD of protection coatings containing carbon

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: PECVD of protection coatings containing carbon Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	skos:Concept http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Vysledek
Description	plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar. plazmatu kapacitně vázaného vf. výboje jsme deponovali tenké vrstvy na bázi uhlíku. Srovnávali jsme optické vlastnosti vrstev deponovaných ze směsi metanu a argonu s vrstvami deponovanými ze směsi HMDSO + metan a HMDSO + metan + Ar. (cs) Carbon films were deposited in capacitively coupled rf glow discharge from several different mixtures on silicon substrates. We compared optical properties in UV-VIS range of diamond like films deposited from mixture of methane and argon with these for carbon films deposited from HMDSO/methane and HMDSO/methane/Ar feeds. (en)
Title	PECVD of protection coatings containing carbon (en) Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku (cs)
skos:prefLabel	PECVD of protection coatings containing carbon (en) Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku Plazmová depozice ochranných vrstev na bázi uhlíku (cs)
skos:notation	RIV/00216224:14310/99:00004161!RIV08-MSM-14310___
http://linked.open.../vavai/riv/strany	314
http://linked.open...avai/riv/aktivita	P
http://linked.open...avai/riv/aktivity	P(GV106/96/K245), P(VS96084)
http://linked.open...vai/riv/dodaniDat	2008
http://linked.open...aciTvurceVysledku	Zajíčková, Lenka Buršíková, Vilma Dvořák, Pavel
http://linked.open.../riv/druhVysledku	D - Článek ve sborníku
http://linked.open...iv/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open...titaPredkladatele	Masarykova univerzita / Přírodovědecká fakulta
http://linked.open...dnocenehoVysledku	749631
http://linked.open...ai/riv/idVysledku	RIV/00216224:14310/99:00004161
http://linked.open...riv/jazykVysledku	cze - čeština
http://linked.open.../riv/klicovaSlova	PECVD; carbon; DLC; DLC:Si (en)
http://linked.open.../riv/klicoveSlovo	PECVD DLC:Si DLC carbon
http://linked.open...ontrolniKodProRIV	[EA02DDFEF7C5]
http://linked.open...v/mistoKonaniAkce	30.8. - 2.9. 1999, Brno
http://linked.open...i/riv/mistoVydani	Brno
http://linked.open...i/riv/nazevZdroje	Materiálové vědy na prahu 3. milénia
http://linked.open...in/vavai/riv/obor	BL
http://linked.open...ichTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...cetTvurcuVysledku	3 (xsd:int)
http://linked.open...vavai/riv/projekt	Hard and superhard coatings prepared by unconventional plasma processes Common laboratories for applied plasma physics and plasma chemistry in PřF and PedF MU, VA Brno and ÚFP AV ČR in Prague
http://linked.open...UplatneniVysledku	1999
http://linked.open...iv/tvurceVysledku	Buršíková, Vilma Dvořák, Pavel Zajíčková, Lenka
http://linked.open...vavai/riv/typAkce	CST - Celostátní
http://linked.open.../riv/zahajeniAkce	1999-01-01 (xsd:date)
number of pages	2 (xsd:int)
http://purl.org/ne...btex#hasPublisher	Vysoké učení technické v Brně. Fakulta strojního inženýrství. Ústav materiálových věd a inženýrství
https://schema.org/isbn	80-214-1376-X
http://localhost/t...ganizacniJednotka	14310

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 58 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software