About: Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=LD12002
Description	The main objective of the proposed project is to design and optimize a new hybrid system for HiPIMS deposition of nanostructured perovskite oxides PbZrxTi1-xO3 (PZT) working with high power delivered into the plasma during short time period. The main goal of the project will be research of various combinations of driving discharge pulse generators in parallel connection and working at low (10-1000 Hz) and high (50-400 kHz) frequencies. Another objective of the research will be different combinations of plasma sources such as planar magnetron and plasma jet (operating with hollow cathode) working in HiPIMS mode. The aim therefore is to find such conditions in hybrid systems enabling a deposition of sufficiently homogeneous nanostructured PZT thin films on metal or dielectric substrates of desired structure and stoichiometry and of the highest deposition rate. The aim are related to finding of optimal deposition conditions of hybrid HiPIMS system by using sophisticated plasma diagnostics methods. (en) Hlavním cílem navrhovaného projektu je konstrukce a optimalizace nového hybridního HiPIMS systému pro depozice nanostrukturovaných perovskitových oxidů PbZrxTi1-xO3 (PZT) pracujícího s vysokým výkonem v krátkém časovém pulzu plazmatu. Hlavním cílem projektu bude výzkum různých kombinací buzení výboje paralelním zapojením pulzních generátorů pracujících na nízkých (10-1000 Hz) a vysokých (50-400 kHz) pulzních frekvencích. Dalším cílem pak bude výzkum různých kombinací plazmových zdrojů jako je planární magnetron a plazmová tryska (pracující s dutou katodou a proudícím plynem) pracujících v HiPIMS módu. Cílem tedy bude nalézt takové podmínky hybridních systémů, umožňující deponovat dostatečně homogenní nanostrukturované tenké vrstvy PZT na kovové nebo dielektrické substráty požadované struktury a stechiometrie co nejvyšší depoziční rychlostí. S tím souvisí nalezení optimálních depozičních podmínek hybridního HiPIMS systému pomocí sofistikovaných diagnostických metod plazmatu.
Title	Investigation of hybrid HiPIMS systems for deposition of nanostructured thin films (en) Výzkum hybridních HiPIMS systémů určených pro depozice nanostrukturovaných tenkých vrstev
skos:notation	LD12002
http://linked.open...avai/cep/aktivita	COST CZ
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/LD12002/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/LD12002/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2014-06-30 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	C - Předmět podléhá obchodnímu tajemství (§17 až 20 Obchodního zákoníku), ale některé údaje jsou upraveny tak, aby byly zveřejnitelné
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	100737445
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	perovskite oxide; magnetron; HIPIMS; hollow cathode; nanostructured films; low-temperature plasma; pulsed dc plasma; plasma diagnostics (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	6 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	6 (xsd:int)
http://linked.open...lneniVMinulemRoce	2013-02-25 (xsd:date)
http://linked.open.../prideleniPodpory	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/prideleniPodpory/MSMT-7027%2F2012-36
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2013
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2014
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SMSM2012LD2
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open...ep/ukonceniReseni	2013-06-30 (xsd:date)
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	BM - Fyzika pevných látek a magnetismus JA - Elektronika a optoelektronika, elektrotechnika
http://linked.open...ep/zahajeniReseni	2012-03-01 (xsd:date)
http://linked.open...jektu+dodavatelem	V rámci řešeného projektu byl realizován hybridní HiPIMS depoziční systém pomocí kombinace MF pulzního výboje nebo ECWR výboje. Hybridní systém byl úspěšně diagnostikován metodami nízkoteplotní diagnostiky plazmatu, optimalizován pro depozice oxidových vrstev různých materiálů. Optimalizovaný hybridní systém může zásadně ovlivnit krystalovou strukturu vrstvy. (cs) The hybrid HiPIMS deposition system using a combination of MF pulsed discharge or ECWR discharge was implemented within the project. The system has been successfully diagnosed with low-temperature plasma diagnostics techniques and optimized for the deposition of oxide layers. First deposition experiments showed that the optimized system may significantly affect the crystal structure of the films. (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZKU
http://linked.open.../cep/klicoveSlovo	low-temperature plasma magnetron HIPIMS hollow cathode nanostructured films pulsed dc plasma perovskite oxide
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Deposition of rutile (TiO2) with preferred orientation by assisted high power impulse magnetron sputtering Angle-resolved investigation of ion dynamics in high power impulse magnetron sputtering deposition system Investigation of ionized metal flux fraction in HiPIMS discharges with Ti and Ni targets Time-resolved tunable diode laser absorption spectroscopy of pulsed plasma Investigation of reactive HiPIMS + MF sputtering of TiO2 crystalline thin films Measuring system for microwave plasma diagnostics
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/LD12002/2012/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/LD12002/2013/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/LD12002/2014/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.116 as of Feb 22 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3239 as of Feb 22 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 82 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software