About: Investigation of physical properties and applications of the low pressure plasma-chemical reactor with the system plasma jet channels for thin films deposition

Facets (new session)
Description
Metadata
Settings
- owl:sameAs
- Inference Rule:

About: Investigation of physical properties and applications of the low pressure plasma-chemical reactor with the system plasma jet channels for thin films deposition Goto Sponge NotDistinct Permalink

An Entity of Type : http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt, within Data Space : linked.opendata.cz associated with source document(s)

Attributes	Values
rdf:type	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/Projekt
rdfs:seeAlso	http://www.isvav.cz/projectDetail.do?rowId=GP202/02/P021
Description	Proposal project deals with a study of plasma jet channels in the plasma chemical reactor with hollow cathodes during the deposition of thin films. Purpose of this study will be a better understanding of processes in the reactive plasma effecting growthprocesses of deposited films. This study should extend applicability and lead to optimization of these technologies. Hollow cathode discharge plasma will be generated by RF, modulated RF, DC, and pulsed DC sources. Plasma jet parameters will be measuredby emission spectroscopy. Spectrometer TRIAX Joben Yvon equipped with UV-VIS CCD detector and with fast response photomultiplier detector will be used for that purpose. In addition a measurement with RF compensated Langmuir probe will be employed aswell. Investigation of the plasma parameters will be done during the deposition of oriented polycrystalline ZnO thin films (c axis perpendicular to the substrate surface) and those similar films doped by Lithium. For that purpose, Zn or composed Zn (en) Předkládaný projekt se zabývá studiem proudících plazmatických kanálů v plazmochemickém reaktoru s dutými katodami při depozici tenkých vrstev. Účelem tohoto studia bude snaha o porozumění procesům v reaktivním plazmatu ovlivňujících růst tenkých vrstev.Toto studium by mělo umožnit lepší využití a optimalizaci těchto technologií. Výbojové plazma v dutých katodách a plazmatických kanálech bude buzeno RF, modulovaným RF, DC a DC pulzním zdrojem. Měření parametrů proudících kanálů bude realizováno pomocíemisní spektroskopie plazmatu spektrometrem TRIAX Joben Yvon vybaveného CCD detektorem citlivým v UV a viditelné oblasti a fotonásobičovým systémem s rychlou odezvou. Tyto experimenty budou dále doplněny měřením RF kompenzovanou Langmuirovou sondou.Měření parametrů plazmatu bude provedeno při depozici ZnO orientovaných polykrystalických vrstev (osa c kolmá k povrchu substrátu) a analogických vrstev dopovaných definovaným množstvím lithia. Pro tento účel bude použito reaktivní rozprašování Zn nebo
Title	Investigation of physical properties and applications of the low pressure plasma-chemical reactor with the system plasma jet channels for thin films deposition (en) Studium fyzikálních vlastností a aplikací nízkotlakého plazmochemického reaktoru se systémem plazmatických kanálů pro depozici tenkých vrstev
skos:notation	GP202/02/P021
http://linked.open...avai/cep/aktivita	Post-graduate (doctorate) grants
http://linked.open...kovaStatniPodpora	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F02%2FP021/celkovaStatniPodpora
http://linked.open...ep/celkoveNaklady	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/GP202%2F02%2FP021/celkoveNaklady
http://linked.open...datumDodatniDoRIV	2008-07-23 (xsd:date)
http://linked.open...i/cep/druhSouteze	VS - Veřejná soutěž ve výzkumu a vývoji
http://linked.open...ep/duvernostUdaju	S - Úplné a pravdivé údaje nepodléhající ochraně podle zvláštních právních předpisů
http://linked.open.../cep/fazeProjektu	1673649
http://linked.open...ai/cep/hlavniObor	BL - Fyzika plasmatu a výboje v plynech
http://linked.open...hodnoceniProjektu	V - Vynikající výsledky (s mezinárodním významem apod.). Zároveň byly splněny cíle a předpokládané výsledky uvedené ve smlouvě / rozhodnutí o poskytnutí podpory.
http://linked.open...vai/cep/kategorie	ZV - Základní výzkum
http://linked.open.../cep/klicovaSlova	Neuvedeno. (en)
http://linked.open...ep/partnetrHlavni	Fyzikální ústav AV ČR, v.v.i.
http://linked.open...inujicichPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open...cep/pocetPrijemcu	1 (xsd:int)
http://linked.open...ocetSpoluPrijemcu	0 (xsd:int)
http://linked.open.../pocetVysledkuRIV	3 (xsd:int)
http://linked.open...enychVysledkuVRIV	3 (xsd:int)
http://linked.open...okUkonceniPodpory	2004
http://linked.open...okZahajeniPodpory	2002
http://linked.open...iciPoslednihoRoku	2005
http://linked.open...atUdajeProjZameru	2005
http://linked.open.../vavai/cep/soutez	SGA02002GA-PD
http://linked.open...usZobrazovaneFaze	DUU
http://linked.open...ai/cep/typPojektu	P - Projekt výzkumu a vývoje financovaný ze státního rozpočtu
http://linked.open.../cep/vedlejsiObor	CI - Průmyslová chemie a chemické inženýrství JP - Průmyslové procesy a zpracování
http://linked.open...jektu+dodavatelem	V rámci řešení projektu bylo realizováno několik druhů diagnostik nízkoteplotního plazmatu, které byly implantované do zkoumaného plazmového reaktoru s dutou katodou. Ten byl modifikován a optimalizován pro depozici určitých typů tenkých vrstev zejména s (cs) Several types of diagnostics of low temperature plasma were realized during the project. These methods were implemented in the investigated plasma-chemical reactor with hollow cathode. This reactor was modified and optimized for the deposition of particu (en)
http://linked.open...tniCyklusProjektu	ZBKU
is http://linked.open...vavai/riv/projekt of	Luminescence of Defects in Li-doped ZnO Thin Films Investigation of RF and DC plasma jet system during deposition of highly oriented ZnO thin films Investigation of the RF plasma jet system for deposition of LiCoOx thin films
is http://linked.open...vavai/cep/projekt of	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F02%2FP021/2002/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F02%2FP021/2003/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F02%2FP021/2004/ico%3A68378271 http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/cep/ucast/GP202%2F02%2FP021/2005/ico%3A68378271

Faceted Search & Find service v1.16.118 as of Jun 21 2024

Alternative Linked Data Documents: ODE Content Formats:

RDF

ODATA

Microdata

About

OpenLink Virtuoso version 07.20.3240 as of Jun 21 2024, on Linux (x86_64-pc-linux-gnu), Single-Server Edition (126 GB total memory, 85 GB memory in use)
Data on this page belongs to its respective rights holders.
Virtuoso Faceted Browser Copyright © 2009-2024 OpenLink Software