*Research and development of advanced technology for chip of semiconductor radiation detectors on 6%22 silicon FZ substrates. Detectors are dedicated for basic research on mater at laboratories of basic research and also for advanced applications in medicine and industry as replacement for vacuum detectors and films. (en)
*Výzkum a vývoj nové generace pokročilé technologie pro výrobu čipů polovodičových detektorů ionizujícího zářenírealizovaných na FZ křemíkových deskách o průměru 150 mm. Čipy detektoru jsou určeny pro detekci ionizujícího záření a částic v laboratořích základního výzkumu i pro pokročilé aplikace v medicíně a průmyslu jako náhrada vakuových detektorů a filmů.
Production technology of silicon detectors on 6%22 Si wafers was developed. Prototypes were made meeting the requirements for integration into detector modules. Research direction of the project enabled substantial improvement of the detector parameters. (en)
Vyvinuta technologie výroby křemíkových detektorů částic na 150mm Si deskách a připraveny prototypy senzorů, splňující požadavky pro integraci do detekčních modulů. Výzkumné zaměření projektu umožnilo výrazné zlepšení parametrů vyráběných detektorů. (cs)