. . "Hardtdegen, Hilde" . "In-situ monitorov\u00E1n\u00ED vlivu r\u016Fzn\u00FDch parametr\u016F na r\u016Fst GaN metodou MOVPE"@cs . . "RIV/60461373:22310/05:00015167!RIV06-MSM-22310___" . "RIV/60461373:22310/05:00015167" . "[E8CAB0927225]" . . "1"^^ . . "Die in-situ Reflektometrie ist eine etablierte Methode, um die Morphologieentwicklung und den Einfluss der Wachstumsparameter bei der Epitaxie von Gruppe III-Nitriden zu beobachten. Seit kurzem ist es zus\u00E4tzlich m\u00F6glich, die absolute Oberfl\u00E4chentemperatur transparenter Substrate mittels emissivit\u00E4tskorrigierter Pyrometrie zu bestimmen. Die Temperaturabh\u00E4ngigkeit der SiC Bandl\u00FCcke wird dabei zur Kalibrierung eingesetzt. In diesem Beitrag wird die neue Methode vorgestellt, der nunmehr beobachtbare Einfluss der Wachstumsparameter auf die absolute Oberfl\u00E4chentemperatur bestimmt, sowie die Auswirkungen auf die Epitaxie diskutiert." . . "Zettler, J. T." . . . . . . "In-situ monitorov\u00E1n\u00ED vlivu r\u016Fzn\u00FDch parametr\u016F na r\u016Fst GaN metodou MOVPE"@cs . "In-situ monitorov\u00E1n\u00ED vlivu r\u016Fzn\u00FDch parametr\u016F na r\u016Fst GaN metodou MOVPE"@cs . "Haberland, Karl" . "8"^^ . "Steins, Roger" . "In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN"@en . "Cho, Yong Suk" . "P\u0159edn\u00E1\u0161ka: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinfl\u00FCssen auf die MOVPE von GaN" . "Sofer, Zden\u011Bk" . . "Zorn, Michael" . "P\u0159edn\u00E1\u0161ka: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinfl\u00FCssen auf die MOVPE von GaN" . . "MOVPE; GaN; AlGaN; R\u016Fst; In-situ monitorov\u00E1n\u00ED; reflektance; ur\u010Den\u00ED slo\u017Een\u00ED"@en . . . . . "In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN"@en . . "537861" . "P(GA104/03/0387), Z(MSM6046137302)" . . "22310" . . "Kaluza, Nicoleta" . . "In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN"@en .