This HTML5 document contains 51 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n13http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/podDruhVysledku/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00424549%21RIV14-AV0-68378271/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/licencniPoplatek/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/kategorie/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/vyuzitiJinymSubjektem/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n11http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F13%3A00424549%21RIV14-AV0-68378271
rdf:type
n16:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Within the project TA01010517, we have developed a new measuring device enabling to determine deposition rate both neutral or ionized particles reaching substrate. Homogeneous magnetic field at the entrance orifice of the QCM sensor enables effectively suppress electron flux on the quartz sensor. V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru. V rámci řešení projektu TA01010517 jsme vyvinuli nové měřící zařízení umožňující stanovit depoziční rychlost neutrálních nebo ionizovaných částic dopadajících na substrát. Homogenní magnetické pole na vstupu QCM sensoru umožňuje efektivně potlačit průnik elektronů do oblasti sensoru.
dcterms:title
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma
skos:prefLabel
Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu An apparatus for neutral and ion flux measurement on substrate in a low-temperature plasma Aparatura pro měření toků neutrálních a ionizovaných částic na substrát v nízkoteplotním plazmatu
skos:notation
RIV/68378271:_____/13:00424549!RIV14-AV0-68378271
n16:predkladatel
n17:ico%3A68378271
n4:aktivita
n15:P n15:I
n4:aktivity
I, P(TA01010517)
n4:dodaniDat
n11:2014
n4:domaciTvurceVysledku
n6:2296268 n6:9773185 n6:2989034 n6:9254927 n6:4267281
n4:druhVysledku
n19:G%2FB
n4:duvernostUdaju
n18:S
n4:ekonomickeParametry
Snížení pořizovacích nákladů na přístrojové vybavení.
n4:entitaPredkladatele
n12:predkladatel
n4:idSjednocenehoVysledku
61520
n4:idVysledku
RIV/68378271:_____/13:00424549
n4:interniIdentifikace
IONEU2013
n4:jazykVysledku
n9:cze
n4:kategorie
n5:A
n4:klicovaSlova
deposition rate; neutral/ion flux ratio; magnetic field; QCM sensor
n4:klicoveSlovo
n7:QCM%20sensor n7:neutral%2Fion%20flux%20ratio n7:deposition%20rate n7:magnetic%20field
n4:kontrolniKodProRIV
[05DB300DF25C]
n4:licencniPoplatek
n20:A
n4:obor
n8:BL
n4:pocetDomacichTvurcuVysledku
5
n4:pocetTvurcuVysledku
5
n4:projekt
n13:TA01010517
n4:rokUplatneniVysledku
n11:2013
n4:technickeParametry
Vyvinutá aparatura umožňuje měřit tok (depoziční rychlost) neutrálních nebo nabitých částic na substrát. K tomuto účelu je využito QCM čidlo s možností přivedení předpětí opatřené vhodně zvoleným magneickým polem na vstupu QCM čidla
n4:tvurceVysledku
Adámek, Petr Hubička, Zdeněk Olejníček, Jiří Kment, Štěpán Čada, Martin
n4:vlastnik
n12:vlastnikVysledku
n4:vyuzitiJinymSubjektem
n10:A