This HTML5 document contains 55 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00321380%21RIV09-AV0-68378271/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n9http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00321380%21RIV09-AV0-68378271
rdf:type
skos:Concept n16:Vysledek
dcterms:description
Hydrogen-free amorphous silicon (a-Si) films were prepared by magnetron sputtering of pure silicon. Mechanical properties (hardness, intrinsic stress, elastic modulus), and film structure (Raman spectra, electron diffraction) were investigated in dependence on the substrate bias and temperature. The increasing negative substrate bias or Ar pressure results in simultaneous reducing compressive stress, the film hardness and elastic modulus. The crystalline structure (c-Si) starts to be formed at deposition temperature of 700 °C. The hardness and elastic modulus of c-Si films were very close to monocrystalline Si(111). Phase transformations observed in the samples at indentation depend not only on the load and loading rate but also on the initial phase of silicon. However, the film hardness is not too sensitive to the presence of phase transformations. Filmy amorfního křemíku (a-Si) byly připraveny magnetronovým naprašováním čistého křemíku. Mechanické vlastnosti (Tvrdost, vnitřní pnutí, elastický modul) a struktura filmu (Ramanova spektra, elektronová difrakce) byla zkoumána v závislosti na teplotě substrátu a %22bias%22. Vzrůst negativního %22bias%22 nebo tlaku Ar vede k současné redukci vnitřních pnutí, tvrdosti a elastického modulu. Krystalická struktura (c-Si) se začíná formovat při depoziční teplotě 700 °C. Tvrdost a elastický modul c-Si filmů se blíží monokrystalickému křemíku (111). Pozorovaná fázová transformace při indentaci nezávisí jen na zátěžné síle a její rychlosti rástu, ale též na původní fázi Si. Tvrdost těchto filmů není však výrazně citlivá na tutu fázovou transformaci. Hydrogen-free amorphous silicon (a-Si) films were prepared by magnetron sputtering of pure silicon. Mechanical properties (hardness, intrinsic stress, elastic modulus), and film structure (Raman spectra, electron diffraction) were investigated in dependence on the substrate bias and temperature. The increasing negative substrate bias or Ar pressure results in simultaneous reducing compressive stress, the film hardness and elastic modulus. The crystalline structure (c-Si) starts to be formed at deposition temperature of 700 °C. The hardness and elastic modulus of c-Si films were very close to monocrystalline Si(111). Phase transformations observed in the samples at indentation depend not only on the load and loading rate but also on the initial phase of silicon. However, the film hardness is not too sensitive to the presence of phase transformations.
dcterms:title
Mechanical properties of amorphous and microcrystalline silicon films Mechanické vlastnosti amorfních a mikrokrystalických křemíkových vrstev Mechanical properties of amorphous and microcrystalline silicon films
skos:prefLabel
Mechanické vlastnosti amorfních a mikrokrystalických křemíkových vrstev Mechanical properties of amorphous and microcrystalline silicon films Mechanical properties of amorphous and microcrystalline silicon films
skos:notation
RIV/68378271:_____/08:00321380!RIV09-AV0-68378271
n3:aktivita
n12:P n12:Z
n3:aktivity
P(1M06002), P(KAN301370701), Z(AV0Z10100520), Z(AV0Z10100522)
n3:cisloPeriodika
16
n3:dodaniDat
n9:2009
n3:domaciTvurceVysledku
n7:5585457 n7:5662281 n7:3966208 n7:9361820 n7:6658776
n3:druhVysledku
n13:J
n3:duvernostUdaju
n14:S
n3:entitaPredkladatele
n15:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
378257
n3:idVysledku
RIV/68378271:_____/08:00321380
n3:jazykVysledku
n5:eng
n3:klicovaSlova
a-Si films; hardness; elastic modulus; compressive stress; Raman spectra
n3:klicoveSlovo
n4:hardness n4:a-Si%20films n4:Raman%20spectra n4:compressive%20stress n4:elastic%20modulus
n3:kodStatuVydavatele
CH - Švýcarská konfederace
n3:kontrolniKodProRIV
[E9DC3FC6D597]
n3:nazevZdroje
Thin Solid Films
n3:obor
n18:BM
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
5
n3:pocetTvurcuVysledku
6
n3:projekt
n6:1M06002 n6:KAN301370701
n3:rokUplatneniVysledku
n9:2008
n3:svazekPeriodika
516
n3:tvurceVysledku
Čtvrtlík, Radim Kulykovskyy, Valeriy Stranyánek, Martin Vorlíček, Vladimír Kurdyumov, A. Boháč, Petr
n3:wos
000257452200046
n3:zamer
n17:AV0Z10100522 n17:AV0Z10100520
s:issn
0040-6090
s:numberOfPages
8