This HTML5 document contains 47 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n5http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n9http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n13http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00321023%21RIV09-AV0-68378271/
n14https://schema.org/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n8http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00321023%21RIV09-AV0-68378271
rdf:type
skos:Concept n12:Vysledek
dcterms:description
The form of silicon wafer is measured by white-light interferometry with measurement uncertainty about 1 μm. In this way waviness or deviations of the silicon wafers can be measured. The form of silicon wafer is measured by white-light interferometry with measurement uncertainty about 1 μm. In this way waviness or deviations of the silicon wafers can be measured. Tvar křemíkových desek je měřena pomocí interferometrie v bílém světle s nejistotou přibližně 1 μm. Tímto způsobem je možné měřit zvlnění nebo odchylky křemíkových desek.
dcterms:title
Meření tvaru křemíkových desek pomocí interferometrie v bílém světle Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry
skos:prefLabel
Meření tvaru křemíkových desek pomocí interferometrie v bílém světle Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry Measurement of the form of silicon wafers by white-light interferometry
skos:notation
RIV/68378271:_____/08:00321023!RIV09-AV0-68378271
n3:aktivita
n7:Z n7:P
n3:aktivity
P(KAN301370701), Z(AV0Z10100522), Z(MSM6198959213)
n3:dodaniDat
n8:2009
n3:domaciTvurceVysledku
n9:9377093 n9:1332333
n3:druhVysledku
n18:D
n3:duvernostUdaju
n4:S
n3:entitaPredkladatele
n13:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
378155
n3:idVysledku
RIV/68378271:_____/08:00321023
n3:jazykVysledku
n19:eng
n3:klicovaSlova
white light interferometry; waviness; form; silicon wafer
n3:klicoveSlovo
n17:silicon%20wafer n17:white%20light%20interferometry n17:form n17:waviness
n3:kontrolniKodProRIV
[9E92E5FC689C]
n3:mistoKonaniAkce
Rožnov pod Radhoštěm
n3:mistoVydani
Rožnov pod Radhoštěm
n3:nazevZdroje
SILICON 2008. 11th Scientific and Business Conference
n3:obor
n11:BH
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
2
n3:pocetTvurcuVysledku
2
n3:projekt
n16:KAN301370701
n3:rokUplatneniVysledku
n8:2008
n3:tvurceVysledku
Chmelíčková, Hana Pavlíček, Pavel
n3:typAkce
n21:EUR
n3:zahajeniAkce
2008-11-04+01:00
n3:zamer
n6:MSM6198959213 n6:AV0Z10100522
s:numberOfPages
5
n5:hasPublisher
TECON Scientific
n14:isbn
978-80-254-3278-5