This HTML5 document contains 60 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n10http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00316451%21RIV09-AV0-68378271/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n4http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F08%3A00316451%21RIV09-AV0-68378271
rdf:type
skos:Concept n17:Vysledek
dcterms:description
We report on a single-shot micropatterning of an organic polymer achieved by ablation with demagnifying projection using a Ne-like Zn 21.2 nm soft x-ray laser. A nickel mesh with a period of 100 mu m was similar to 10x demagnified and imprinted on poly(methyl methacrylate) via direct ablation. The quality of the ablated microstructure was found to be mainly dependent on the quality of the projected mask. This first demonstration (to our knowledge) of single-shot projection, single-step lithography illustrates the potential of soft x-ray lasers for the direct patterning of materials with a resolution scalable down to submicrometer domain. We report on a single-shot micropatterning of an organic polymer achieved by ablation with demagnifying projection using a Ne-like Zn 21.2 nm soft x-ray laser. A nickel mesh with a period of 100 mu m was similar to 10x demagnified and imprinted on poly(methyl methacrylate) via direct ablation. The quality of the ablated microstructure was found to be mainly dependent on the quality of the projected mask. This first demonstration (to our knowledge) of single-shot projection, single-step lithography illustrates the potential of soft x-ray lasers for the direct patterning of materials with a resolution scalable down to submicrometer domain. Byl proveden pilotní experiment na téma řízeného mikrostrukturování PMMA s použitím zinkového rentgenového laseru na vlnové délce 21 nm. Jako testovací objekt byla použita niklová mřížka s prostorovou periodou 100 mm, která byla speciálním rentgenovým zobrazovacím systémem 10 x zmenšena a otisknuta jedním výstřelem rentgenového laseru na povrch PMMA. Kvalita vytvořené mikrostruktury je limitována především kvalitou použité testovací masky. Tato první experimentální demonstrace jedno-výstřelového projekčního mikrostrukturování PMMA naznačuje velký potenciál pro využití rentgenových laserů při řízeném strukturování materiálů s rozlišením v řánu nanometrů.
dcterms:title
Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Ablační mikrostrukturování povrchu organického polymeru rentgenovým laserem
skos:prefLabel
Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection Ablační mikrostrukturování povrchu organického polymeru rentgenovým laserem Single-shot soft x-ray laser-induced ablative microstructuring of organic polymer with demagnifying projection
skos:notation
RIV/68378271:_____/08:00316451!RIV09-AV0-68378271
n3:aktivita
n13:Z n13:P
n3:aktivity
P(GA202/05/2316), P(KAN300100702), P(LA08024), P(LC510), P(LC528), Z(AV0Z10100523)
n3:cisloPeriodika
10
n3:dodaniDat
n4:2009
n3:domaciTvurceVysledku
n10:6640559 n10:4287134 n10:2712679 n10:6173047 n10:8299528 n10:6227538 n10:8434050 n10:4813898
n3:druhVysledku
n6:J
n3:duvernostUdaju
n11:S
n3:entitaPredkladatele
n12:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
394986
n3:idVysledku
RIV/68378271:_____/08:00316451
n3:jazykVysledku
n16:eng
n3:klicovaSlova
x-ray lasers; laser ablation; microstructuring
n3:klicoveSlovo
n8:laser%20ablation n8:microstructuring n8:x-ray%20lasers
n3:kodStatuVydavatele
US - Spojené státy americké
n3:kontrolniKodProRIV
[038CDAF8CDF5]
n3:nazevZdroje
Optics Letters
n3:obor
n14:BH
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
8
n3:pocetTvurcuVysledku
8
n3:projekt
n7:KAN300100702 n7:LC510 n7:LA08024 n7:GA202%2F05%2F2316 n7:LC528
n3:rokUplatneniVysledku
n4:2008
n3:svazekPeriodika
33
n3:tvurceVysledku
Chalupský, Jaromír Homer, Pavel Hájková, Věra Polan, Jiří Mocek, Tomáš Juha, Libor Kozlová, Michaela Rus, Bedřich
n3:wos
000256520500018
n3:zamer
n18:AV0Z10100523
s:issn
0146-9592
s:numberOfPages
3