This HTML5 document contains 49 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n13http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00309732%21RIV08-AV0-68378271/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n4http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F07%3A00309732%21RIV08-AV0-68378271
rdf:type
n16:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Time- and spatially resolved optical emission spectroscopy was performed to characterize the plasma produced in a pulsed laser deposition and a hybrid magnetron sputtering-pulsed laser deposition systems suitable for SiC thin films preparation. Time- and spatially resolved optical emission spectroscopy was performed to characterize the plasma produced in a pulsed laser deposition and a hybrid magnetron sputtering-pulsed laser deposition systems suitable for SiC thin films preparation. Časově a prostorově rozlišená optická emisní spektroskopie byla využita pro studium plazmatu v depozičních systémech pro přípravu SiC vrstev. Jedná se o systémy s pulsní laserovou depozicí a hybridní s kombinací magnetronového naprašování a pulsní laserové depozice.
dcterms:title
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
skos:prefLabel
A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems Srovnání plazmatu v laserových a hybridních laser-magnetronových systémech pro přípravu SiC A comparison of plasma in laser and hybrid laser-magnetron SiC deposition systems
skos:notation
RIV/68378271:_____/07:00309732!RIV08-AV0-68378271
n3:strany
S1017;S1021
n3:aktivita
n12:P n12:Z
n3:aktivity
P(GA202/06/0216), P(KJB1010417), Z(AV0Z10100522)
n3:cisloPeriodika
-
n3:dodaniDat
n4:2008
n3:domaciTvurceVysledku
n6:7772629 n6:7433514 n6:7895712 n6:9640495
n3:druhVysledku
n5:J
n3:duvernostUdaju
n15:S
n3:entitaPredkladatele
n14:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
407828
n3:idVysledku
RIV/68378271:_____/07:00309732
n3:jazykVysledku
n8:eng
n3:klicovaSlova
laser ablation; magnetron sputtering; optical emission spectroscopy
n3:klicoveSlovo
n7:optical%20emission%20spectroscopy n7:magnetron%20sputtering n7:laser%20ablation
n3:kodStatuVydavatele
DE - Spolková republika Německo
n3:kontrolniKodProRIV
[977D6ED12330]
n3:nazevZdroje
Plasma Processes and Polymers
n3:obor
n10:BM
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
4
n3:pocetTvurcuVysledku
4
n3:projekt
n13:GA202%2F06%2F0216 n13:KJB1010417
n3:rokUplatneniVysledku
n4:2007
n3:svazekPeriodika
4
n3:tvurceVysledku
Bulíř, Jiří Lančok, Ján Novotný, Michal Jelínek, Miroslav
n3:zamer
n18:AV0Z10100522
s:issn
1612-8850
s:numberOfPages
5