This HTML5 document contains 54 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
n13http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00324065%21RIV09-AV0-68378271/
shttp://schema.org/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n9http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68378271%3A_____%2F06%3A00324065%21RIV09-AV0-68378271
rdf:type
n14:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Pulzně modulovaný dvoutryskový plazmatický systém s efektem duté katody byl použit pro depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 (BSTO) na Si a multivrstvé Si/SiO2/TiO2/Pt substráty. Obě trysky, vyrobené jedna z keramiky BaTiO3 a druhá z SrTiO3, byly reaktivně odprašovány v modulovaném RF výboji. Pomocí Langmuirovy sondy byly určeny koncentrace elektronů, teplota elektronů a rozdělovací funkce elektronů. Pomocí optické emisní spektroskopie byly určeny teplota neutrálních částic a poměr odprášených atomů (především Ba a Sr). Byla pozorována významná korelace mezi poměrem spektrální intenzity čar Ba a Sr a poměrem atomů Ba a Sr v tenkých vrstvách BSTO. Znalost této korelace byla použita pro depozice gradientních tenkých vrstev BSTO. Pulse modulated double hollow cathode plasma jet system was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) thin films on Si and on multi-layer Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. Both separate nozzles made of BaTiO3 and SrTiO3 ceramics were reactively sputtered in the RF modulated plasma jet. Electron density, electron temperature and electron energy probability function were determined by Langmuir probe. Temperature of neutral particles and ratio of sputtered atoms (especially Ba and Sr) were estimated by optical emission spectroscopy. High correlation between ratio of spectral intensity of Ba and Sr lines and ratio of Ba and Sr atoms in BSTO thin film was observed. Knowledge of this correlation was used for deposition of compositional gradient BSTO thin films. Pulse modulated double hollow cathode plasma jet system was used for deposition of BaxSr1-xTiO3 (BSTO) thin films on Si and on multi-layer Si/SiO2/TiO2/Pt substrates. Both separate nozzles made of BaTiO3 and SrTiO3 ceramics were reactively sputtered in the RF modulated plasma jet. Electron density, electron temperature and electron energy probability function were determined by Langmuir probe. Temperature of neutral particles and ratio of sputtered atoms (especially Ba and Sr) were estimated by optical emission spectroscopy. High correlation between ratio of spectral intensity of Ba and Sr lines and ratio of Ba and Sr atoms in BSTO thin film was observed. Knowledge of this correlation was used for deposition of compositional gradient BSTO thin films.
dcterms:title
Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system
skos:prefLabel
Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system Measurements of plasma parameters during BaxSr1-xTiO3 thin films deposition by double hollow cathode plasma jet system Měření parametrů plazmatu během depozice tenkých vrstev BaxSr1-xTiO3 pomocí dvoutryskového plazmatického systému s efektem duté katody
skos:notation
RIV/68378271:_____/06:00324065!RIV09-AV0-68378271
n5:aktivita
n17:Z
n5:aktivity
Z(AV0Z10100522), Z(MSM0021620834)
n5:cisloPeriodika
Suppl. B
n5:dodaniDat
n9:2009
n5:domaciTvurceVysledku
n6:5193222 Deyneka, Alexander n6:2296268 n6:4267281 n6:8119988
n5:druhVysledku
n15:J
n5:duvernostUdaju
n16:S
n5:entitaPredkladatele
n13:predkladatel
n5:idSjednocenehoVysledku
484598
n5:idVysledku
RIV/68378271:_____/06:00324065
n5:jazykVysledku
n12:eng
n5:klicovaSlova
BSTO thin films; hollow cathode sputtering; Langmuir probe; emission spectroscopy
n5:klicoveSlovo
n10:hollow%20cathode%20sputtering n10:emission%20spectroscopy n10:Langmuir%20probe n10:BSTO%20thin%20films
n5:kodStatuVydavatele
CZ - Česká republika
n5:kontrolniKodProRIV
[F1C930D49782]
n5:nazevZdroje
Czechoslovak Journal of Physics
n5:obor
n7:BH
n5:pocetDomacichTvurcuVysledku
5
n5:pocetTvurcuVysledku
9
n5:rokUplatneniVysledku
n9:2006
n5:svazekPeriodika
56
n5:tvurceVysledku
Šícha, M. Deyneka, Alexander Hubička, Zdeněk Tichý, M. Virostko, Petr Jastrabík, Lubomír Olejníček, Jiří Adámek, P. Šíchová, H.
n5:wos
000241337100005
n5:zamer
n11:MSM0021620834 n11:AV0Z10100522
s:issn
0011-4626
s:numberOfPages
7