This HTML5 document contains 56 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n17http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
n15https://schema.org/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00314941%21RIV09-AV0-68081731/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n10http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68081731%3A_____%2F08%3A00314941%21RIV09-AV0-68081731
rdf:type
n11:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Prezentujeme systém polohování vzorku pro různé typy mikroskopie s lokální sondou s interferometrickým měřením polohy. Polohování rozšiřuje významně rozsah zobrazení mikroskopie, kdy nejen sonda může být vychylována v malém rozsahu piezoelektrickými prvky, ale i vzorek může být posouván ve větším rozsahu. Polohovací stolek umožňuje polohování s nanometrovým rozlišením ve všech třech osách v režimu zpětnovazební regulace s měřením polohy kapacitními snímači. Interferometrický systém monitorování všech ve všech šesti stupních volnosti zajišťuje plnou metrologickou návaznost polohování na základní etalon délky a zlepšuje rozlišení a celkovou přesnost polohy. We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe can be displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring. We present a system of positioning a sample for various types of local probe microscopes with interferometric measurement of displacement. The positioning extends significantly the field of view of the local probe microscopy where not only the probe can be displaced over a small range by piezoelectric transducers but the sample can be positioned over a larger scale. The stage allows positioning with nanometer resolution in all three axes under a closed loop control with position detection via capacitive sensors. Interferometric system monitoring all six degrees of freedom of the stage ensures full metrological traceability of the positioning to the fundamental etalon of length and improves resolution and overall precision of the displacement monitoring.
dcterms:title
High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy
skos:prefLabel
High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy High-resolution interferometry with Nd:YAG laser for local probe mícroscopy Interferometrie s vysokým rozlišením a Nd:YAG laserem pro mikroskopii s lokální sondou
skos:notation
RIV/68081731:_____/08:00314941!RIV09-AV0-68081731
n5:aktivita
n13:Z n13:P
n5:aktivity
P(2A-1TP1/127), P(2A-3TP1/113), P(2C06012), P(FT-TA3/133), P(GA102/07/1179), P(IAA200650504), P(LC06007), Z(AV0Z20650511)
n5:dodaniDat
n10:2009
n5:domaciTvurceVysledku
n8:9233598 n8:5170230 n8:5629802 n8:5467853
n5:druhVysledku
n21:D
n5:duvernostUdaju
n12:S
n5:entitaPredkladatele
n14:predkladatel
n5:idSjednocenehoVysledku
370138
n5:idVysledku
RIV/68081731:_____/08:00314941
n5:jazykVysledku
n20:eng
n5:klicovaSlova
local probe microscopy; nanopositioning; interferometry; nanometrology
n5:klicoveSlovo
n9:interferometry n9:nanometrology n9:nanopositioning n9:local%20probe%20microscopy
n5:kontrolniKodProRIV
[148355ABD3B3]
n5:mistoKonaniAkce
Singapore
n5:mistoVydani
Bellingham
n5:nazevZdroje
Ninth International Symposium on Laser Metrology. (Proceedings of SPIE Vol. 7155)
n5:obor
n16:BH
n5:pocetDomacichTvurcuVysledku
4
n5:pocetTvurcuVysledku
4
n5:projekt
n6:FT-TA3%2F133 n6:LC06007 n6:2A-3TP1%2F113 n6:GA102%2F07%2F1179 n6:2A-1TP1%2F127 n6:2C06012 n6:IAA200650504
n5:rokUplatneniVysledku
n10:2008
n5:tvurceVysledku
Čížek, Martin Šerý, Mojmír Číp, Ondřej Lazar, Josef
n5:typAkce
n19:WRD
n5:zahajeniAkce
2008-06-30+02:00
n5:zamer
n18:AV0Z20650511
s:numberOfPages
8
n17:hasPublisher
SPIE
n15:isbn
978-0-8194-7398-1