This HTML5 document contains 44 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n15http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n19https://schema.org/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68081723%3A_____%2F10%3A00353917%21RIV11-AV0-68081723/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n13http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68081723%3A_____%2F10%3A00353917%21RIV11-AV0-68081723
rdf:type
skos:Concept n11:Vysledek
dcterms:description
In this paper, a new method of measurement of mechanical properties of thin films is presented. This method combines specimen preparation by focused ion beam (FIB) and compression test using nanoindentation device. Compression specimens were prepared from thin film, Al-1.5%Cu, which is commonly used in integrated circuit. Cylindrical specimens were prepared by FIB milling. The height of specimens (pillars) was about 2 mircrometers (equal to the film thickness) and their diameter was about 1.3 micrometers. The pillars are single crystalline, therefore the results depend on crystallographic orientation of pillar, which was specified by EBSD (electron backscatter diffraction). Stress-strain curves of the thin film were obtained in two representations. Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích. Nová metoda měření mechanických vlastností tenkých vrstev je popsána v tomto článku. Metoda kombinuje přípravu vzorků fokusovaným iontovým svazkem (FIB) a následnou kompresi pomocí nanoindentačního zařízení. Kompresní vzorky byly připraveny z tenké Al vrstvy která je běžně používána v elektrických obvodech. Byly připraveny válcové pilířky jejichž vyýška byla dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry) a průměr se pohyboval okolo 1,3 mikrometru. Jelikož pilířky jsou monokrystalické, výsledky silně závisí na krystalografické orientaci pilířku. Orientace byla určena pomocí EBSD. Křivky napětí deformace byly získány ve dvou reprezentacích.
dcterms:title
Nanocompression of oriented pillars from Al thin film Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
skos:prefLabel
Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty Nanocompression of oriented pillars from Al thin film Nanokomprese orientovaných pilířků z tenké Al vrsty
skos:notation
RIV/68081723:_____/10:00353917!RIV11-AV0-68081723
n3:aktivita
n10:S n10:Z
n3:aktivity
S, Z(AV0Z20410507)
n3:dodaniDat
n13:2011
n3:domaciTvurceVysledku
n7:5413206 n7:2240750
n3:druhVysledku
n6:D
n3:duvernostUdaju
n14:S
n3:entitaPredkladatele
n16:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
273628
n3:idVysledku
RIV/68081723:_____/10:00353917
n3:jazykVysledku
n4:cze
n3:klicovaSlova
nanocompression; thin Al film; focused ion beam
n3:klicoveSlovo
n5:thin%20Al%20film n5:focused%20ion%20beam n5:nanocompression
n3:kontrolniKodProRIV
[ECDC35B39A9C]
n3:mistoKonaniAkce
Svratka
n3:mistoVydani
Prague
n3:nazevZdroje
Engineering Mechanics 2010
n3:obor
n12:JJ
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
2
n3:pocetTvurcuVysledku
2
n3:rokUplatneniVysledku
n13:2010
n3:tvurceVysledku
Kuběna, Ivo Kruml, Tomáš
n3:typAkce
n18:EUR
n3:zahajeniAkce
2010-05-10+02:00
n3:zamer
n17:AV0Z20410507
s:numberOfPages
8
n15:hasPublisher
Ústav termomechaniky AV ČR
n19:isbn
978-80-87012-26-0