This HTML5 document contains 51 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n18http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n20https://schema.org/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F68081723%3A_____%2F08%3A00314417%21RIV09-AV0-68081723/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n17http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F68081723%3A_____%2F08%3A00314417%21RIV09-AV0-68081723
rdf:type
n9:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností. Mechanical properties of thin films are not easy to be measured. This is particularly true in the case of plastic properties as the yield point, the work hardening rate or the ultimate stress. Nevertheless, such parameters are needed e.g. in the design of integrated circuits where the thermal stresses may lead to mechanical failure of the component. We applied two modern experimental facilities, the focused ion beam and the nanoindentation for exact measurement of plastic properties of a Al-1.5%Cu thin film prepared by PVD, used for electrical connection of integrated circuits. By FIB milling, cylindrical specimens were prepared. The height of the specimens was equal to the film thickness (2 m) and their diameter was about 1.3 m. These specimens were subjected to the compressive loading using the nanoindenter equipped by a flat punch. Stress-strain curves of the film were obtained rather precisely. Technikou fokusovaných iontových byly připraveny malé kompresní válcové vzorky z tenké vrstvy Al-1.5%Cu. Tyto vzorky byly deformovány v kompresi s použitím nanoindentoru a plochého diamantového hrotu. Byly tak získány závislosti napětí-deformace s poměrně vysokou přesností.
dcterms:title
Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese
skos:prefLabel
Measurement of mechanical properties of thin films by nanocompression Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese
skos:notation
RIV/68081723:_____/08:00314417!RIV09-AV0-68081723
n3:aktivita
n16:Z
n3:aktivity
Z(AV0Z10100522), Z(AV0Z20410507)
n3:dodaniDat
n17:2009
n3:domaciTvurceVysledku
n6:5413206 n6:6154557 n6:2240750
n3:druhVysledku
n4:D
n3:duvernostUdaju
n14:S
n3:entitaPredkladatele
n15:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
378501
n3:idVysledku
RIV/68081723:_____/08:00314417
n3:jazykVysledku
n13:cze
n3:klicovaSlova
nanocompression; Al thin film; yield point
n3:klicoveSlovo
n5:Al%20thin%20film n5:yield%20point n5:nanocompression
n3:kontrolniKodProRIV
[62F652DD602E]
n3:mistoKonaniAkce
Velké Karlovice
n3:mistoVydani
Rožnov pod Radhoštěm
n3:nazevZdroje
Vrstvy a povlaky 2008
n3:obor
n7:JJ
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n3:pocetTvurcuVysledku
8
n3:rokUplatneniVysledku
n17:2008
n3:tvurceVysledku
Boháč, Petr Hutař, Pavel Pánek, P. Stranyánek, Martin Čtvrtlík, Radim Vystavěl, T. Kruml, Tomáš Kuběna, Ivo
n3:typAkce
n19:EUR
n3:zahajeniAkce
2008-09-29+02:00
n3:zamer
n12:AV0Z20410507 n12:AV0Z10100522
s:numberOfPages
6
n18:hasPublisher
LISS, a.s.
n20:isbn
978-80-969310-7-1