This HTML5 document contains 47 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n17http://localhost/temp/predkladatel/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n9http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F60461373%3A22310%2F05%3A00015167%21RIV06-MSM-22310___/
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n14http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F60461373%3A22310%2F05%3A00015167%21RIV06-MSM-22310___
rdf:type
n13:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE Die in-situ Reflektometrie ist eine etablierte Methode, um die Morphologieentwicklung und den Einfluss der Wachstumsparameter bei der Epitaxie von Gruppe III-Nitriden zu beobachten. Seit kurzem ist es zusätzlich möglich, die absolute Oberflächentemperatur transparenter Substrate mittels emissivitätskorrigierter Pyrometrie zu bestimmen. Die Temperaturabhängigkeit der SiC Bandlücke wird dabei zur Kalibrierung eingesetzt. In diesem Beitrag wird die neue Methode vorgestellt, der nunmehr beobachtbare Einfluss der Wachstumsparameter auf die absolute Oberflächentemperatur bestimmt, sowie die Auswirkungen auf die Epitaxie diskutiert. In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN
dcterms:title
In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN
skos:prefLabel
In-situ monitorování vlivu různých parametrů na růst GaN metodou MOVPE Přednáška: In-situ Untersuchungen von Wachstumsparametereinflüssen auf die MOVPE von GaN In-situ monitoring of parameters influenceing MOVPE growth of GaN
skos:notation
RIV/60461373:22310/05:00015167!RIV06-MSM-22310___
n3:aktivita
n4:Z n4:P
n3:aktivity
P(GA104/03/0387), Z(MSM6046137302)
n3:dodaniDat
n14:2006
n3:domaciTvurceVysledku
n9:3148262
n3:druhVysledku
n8:O
n3:duvernostUdaju
n18:S
n3:entitaPredkladatele
n12:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
537861
n3:idVysledku
RIV/60461373:22310/05:00015167
n3:jazykVysledku
n10:ger
n3:klicovaSlova
MOVPE; GaN; AlGaN; Růst; In-situ monitorování; reflektance; určení složení
n3:klicoveSlovo
n5:MOVPE n5:AlGaN n5:ur%C4%8Den%C3%AD%20slo%C5%BEen%C3%AD n5:In-situ%20monitorov%C3%A1n%C3%AD n5:reflektance n5:R%C5%AFst n5:GaN
n3:kontrolniKodProRIV
[E8CAB0927225]
n3:obor
n15:CA
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
1
n3:pocetTvurcuVysledku
8
n3:projekt
n11:GA104%2F03%2F0387
n3:rokUplatneniVysledku
n14:2005
n3:tvurceVysledku
Hardtdegen, Hilde Zettler, J. T. Haberland, Karl Steins, Roger Cho, Yong Suk Sofer, Zdeněk Zorn, Michael Kaluza, Nicoleta
n3:zamer
n16:MSM6046137302
n17:organizacniJednotka
22310