This HTML5 document contains 46 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n17http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n15http://localhost/temp/predkladatel/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n20https://schema.org/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000024%21RIV08-MSM-23640___/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n8http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n4http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F49777513%3A23640%2F07%3A00000024%21RIV08-MSM-23640___
rdf:type
n12:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
The paper deals with the evaluation of aluminium thin films properties prepared by fr and dc magnetron sputtering techniques. Structural and optical properties of deposited films were characterized in relation to type of the source, sputtering time and deposition power. Článek se zabývá vývojem vlastností tenkých vrstev Al připravených rf a dc magnetronovým naprašováním. Strukturní a optické vlastnosti deponovaných vrstev byly charakterizovány ve vztahu ke zdroji, naprašovacímu času a depozičnímu výkonu. The paper deals with the evaluation of aluminium thin films properties prepared by fr and dc magnetron sputtering techniques. Structural and optical properties of deposited films were characterized in relation to type of the source, sputtering time and deposition power.
dcterms:title
The influence of deposition parameters on structure and deposition rates of Al films prepared by magnetron sputtering Vliv parametrů depozice na strukturu a rychlost růstu Al vrstev připravených metodou magnetronového naprašování Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania
skos:prefLabel
The influence of deposition parameters on structure and deposition rates of Al films prepared by magnetron sputtering Vplyv parametrov depozície na štruktúru a rýchlosť rastu Al vrstiev pripravených metódou magnetrónového naprašovania Vliv parametrů depozice na strukturu a rychlost růstu Al vrstev připravených metodou magnetronového naprašování
skos:notation
RIV/49777513:23640/07:00000024!RIV08-MSM-23640___
n3:strany
197-199
n3:aktivita
n18:P
n3:aktivity
P(1M06031)
n3:dodaniDat
n4:2008
n3:domaciTvurceVysledku
Šutta, Pavol n11:1889788 n11:4655818
n3:druhVysledku
n8:D
n3:duvernostUdaju
n16:S
n3:entitaPredkladatele
n5:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
459152
n3:idVysledku
RIV/49777513:23640/07:00000024
n3:jazykVysledku
n19:sla
n3:klicovaSlova
magnetron sputtering; Al
n3:klicoveSlovo
n13:Al n13:magnetron%20sputtering
n3:kontrolniKodProRIV
[199578525138]
n3:mistoKonaniAkce
Rožnov pod Radhoštěm
n3:mistoVydani
Trenčín
n3:nazevZdroje
Vrstvy a povlaky 2007
n3:obor
n6:BL
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n3:pocetTvurcuVysledku
3
n3:projekt
n14:1M06031
n3:rokUplatneniVysledku
n4:2007
n3:tvurceVysledku
Šutta, Pavol Zubko, Pavol Netrvalová, Marie
n3:typAkce
n21:EUR
n3:zahajeniAkce
2007-01-01+01:00
s:numberOfPages
3
n17:hasPublisher
Digital graphic
n20:isbn
978-80-969310-4-0
n15:organizacniJednotka
23640