This HTML5 document contains 44 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n10http://localhost/temp/predkladatel/
n4http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500510%21RIV09-MSM-23520___/
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n14http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F49777513%3A23520%2F08%3A00500510%21RIV09-MSM-23520___
rdf:type
n11:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
The distribution and form of the discharge in dual magnetron (DM) depends not only on the polarity of magnets used in both magnetrons but also on the distribution of magnetic field lines. For tilted DM, a naturally created gradient of magnetic field generates a drift of plasma that results in a deflection of the discharge from the plane of symmetry. This deflection of the discharge was observed experimentally. Performed experiments are in a good agreement with the theoretical prediction. The distribution and form of the discharge in dual magnetron (DM) depends not only on the polarity of magnets used in both magnetrons but also on the distribution of magnetic field lines. For tilted DM, a naturally created gradient of magnetic field generates a drift of plasma that results in a deflection of the discharge from the plane of symmetry. This deflection of the discharge was observed experimentally. Performed experiments are in a good agreement with the theoretical prediction. Rozložení a tvar výboje duálního magnetronu nezáleží pouze na polaritě magnetů u jednotlivých magnetronů, ale rovněž na rozložení magnetického pole mezi těmito magnetrony. V případě skloněného duálního magnetronu dochází k odklonu plazmového výboje z roviny symetrie z důvodu vytvoření přirozeného gradientu magnetického pole mezi magnetrony. Tento odklon byl pozorován experimentálně. Získané výsledky jsou v dobrém souladu s teoretickými předpoklady.
dcterms:title
Plasma Drift in Dual Magnetron Discharge Drift plazmatu v duálním magnetronovém výboji Plasma Drift in Dual Magnetron Discharge
skos:prefLabel
Drift plazmatu v duálním magnetronovém výboji Plasma Drift in Dual Magnetron Discharge Plasma Drift in Dual Magnetron Discharge
skos:notation
RIV/49777513:23520/08:00500510!RIV09-MSM-23520___
n3:aktivita
n16:Z
n3:aktivity
Z(MSM4977751302)
n3:cisloPeriodika
4
n3:dodaniDat
n14:2009
n3:domaciTvurceVysledku
n8:2451697 n8:9269606
n3:druhVysledku
n18:J
n3:duvernostUdaju
n17:S
n3:entitaPredkladatele
n4:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
386781
n3:idVysledku
RIV/49777513:23520/08:00500510
n3:jazykVysledku
n12:eng
n3:klicovaSlova
Dual magnetron (DM); magnetic field; plasma discharge; plasma drift
n3:klicoveSlovo
n15:plasma%20discharge n15:magnetic%20field n15:Dual%20magnetron%20%28DM%29 n15:plasma%20drift
n3:kodStatuVydavatele
US - Spojené státy americké
n3:kontrolniKodProRIV
[B639AAF1BC46]
n3:nazevZdroje
IEEE Transactions on Plasma Science
n3:obor
n13:BL
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
2
n3:pocetTvurcuVysledku
2
n3:rokUplatneniVysledku
n14:2008
n3:svazekPeriodika
36
n3:tvurceVysledku
Baroch, Pavel Musil, Jindřich
n3:wos
000258618200276
n3:zamer
n7:MSM4977751302
s:issn
0093-3813
s:numberOfPages
2
n10:organizacniJednotka
23520