This HTML5 document contains 52 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n5http://localhost/temp/predkladatel/
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n7http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F49777513%3A23520%2F05%3A00000250%21RIV06-GA0-23520___/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n15http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F49777513%3A23520%2F05%3A00000250%21RIV06-GA0-23520___
rdf:type
n10:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
The Zr-Si-N films were deposited using an unbalanced dc reactive magnetron sputtering of the alloyed ZrSi2 target in a mixture of argon and nitrogen onto steel and silicon substrates. This article reports on a systematic investigation of depences of the Článek se zabývá systematickým zkoumáním závislostí struktury, prvkového složení, mechanických vlastností a oxidační odolnosti vrstev Zr-Si-N s vysokým obsahem Si na depozičních parametrech. Vrstvy byly deponovány magnetronovým naprašováním z keramického The Zr-Si-N films were deposited using an unbalanced dc reactive magnetron sputtering of the alloyed ZrSi2 target in a mixture of argon and nitrogen onto steel and silicon substrates. This article reports on a systematic investigation of depences of the
dcterms:title
Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content Struktura a vlastnosti magnetronově naprašovaných vrstev Zr-Si-N s vysokým obsahem křemíku
skos:prefLabel
Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content Struktura a vlastnosti magnetronově naprašovaných vrstev Zr-Si-N s vysokým obsahem křemíku Structure and properties of magnetron sputtered Zr-Si-N films with a high Si content
skos:notation
RIV/49777513:23520/05:00000250!RIV06-GA0-23520___
n3:strany
238-247
n3:aktivita
n9:Z n9:P
n3:aktivity
P(GP106/03/D009), P(ME 529), Z(MSM 235200002)
n3:cisloPeriodika
0
n3:dodaniDat
n15:2006
n3:domaciTvurceVysledku
n16:8233152 n16:9269606 n16:7710836
n3:druhVysledku
n19:J
n3:duvernostUdaju
n6:S
n3:entitaPredkladatele
n18:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
544960
n3:idVysledku
RIV/49777513:23520/05:00000250
n3:jazykVysledku
n17:eng
n3:klicovaSlova
Zr-Si-N films; high Si content; structure; mechanical properties; oxidation resistance; dc reactive magnetron sputtering
n3:klicoveSlovo
n4:structure n4:dc%20reactive%20magnetron%20sputtering n4:mechanical%20properties n4:oxidation%20resistance n4:Zr-Si-N%20films n4:high%20Si%20content
n3:kodStatuVydavatele
NL - Nizozemsko
n3:kontrolniKodProRIV
[FD1378ED49CC]
n3:nazevZdroje
Thin Solid Films
n3:obor
n12:BL
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n3:pocetTvurcuVysledku
4
n3:projekt
n7:ME%20529 n7:GP106%2F03%2FD009
n3:rokUplatneniVysledku
n15:2005
n3:svazekPeriodika
478
n3:tvurceVysledku
Daniel, Rostislav Musil, Jindřich Zeman, Petr Takai, Osamu
n3:zamer
n14:MSM%20235200002
s:issn
0040-6090
s:numberOfPages
10
n5:organizacniJednotka
23520