This HTML5 document contains 42 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

Prefix	IRI
dcterms	http://purl.org/dc/terms/
n17	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n16	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n4	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n14	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/podDruhVysledku/
n3	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n11	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000034%21RIV14-TA0-27711170/
skos	http://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n5	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdf	http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n15	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdh	http://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n12	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n7	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n13	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n10	http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item

n2:RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000034%21RIV14-TA0-27711170

rdf:type

skos:Concept n3:Vysledek

dcterms:description

Byla vyvinuta metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií pro procesy fosforové a borové difúze. Byla vyvinuta metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Tato metodika optimalizuje spotřebu procesních (reakčních) plynů a chemikálií pro procesy fosforové a borové difúze. A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion was elaborated. This methodics optimizates the consumption of process (reaction) gas and chemicals of phosphorus and boron diffusion.

dcterms:title

Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion. Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze.

skos:prefLabel

A methodics of measurement of usage of inlet (reaction) and outlet (waste) gas mixtures with help of weight spectrometer for optimization of phospohorus and boron diffusion. Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze. Metodika měření využití vstupních (reakčních) a výstupních (odpadních) plynných směsí pomocí hmotnostního spektrometru pro optimalizaci procesů fosforové a borové difúze.

skos:notation

A-2013-12-9-SVMM-03 RIV/27711170:_____/13:#0000034!RIV14-TA0-27711170

n3:predkladatel

n4:ico%3A27711170

n5:aktivita

n12:P

n5:aktivity

P(TA01020972)

n5:certifikacniOrgan

SVCS Process Innovation s.r.o., Optátova 37, Brno 637 00

n5:datumCertifikace

2013-12-09+01:00

n5:dodaniDat

n10:2014

n5:domaciTvurceVysledku

n16:2662272 n16:2633698

n5:druhVysledku

n14:N%2FA

n5:duvernostUdaju

n15:C

n5:ekonomickeParametry

Metodika bude sloužit jako podpůrný produkt prodeje MWPECVD zařízení. V rámci implementace certifikované metodiky do zmíněného MWPECVD zařízení očekáváme navýšení ceny tohoto zařízení cca o 4%.

n5:entitaPredkladatele

n11:predkladatel

n5:idSjednocenehoVysledku

87778

n5:idVysledku

RIV/27711170:_____/13:#0000034

n5:interniIdentifikace

SVMM-03

n5:jazykVysledku

n7:cze

n5:klicovaSlova

phosphorus and boron diffusion; measurement of inlet and outlet gas mixtures

n5:klicoveSlovo

n6:phosphorus%20and%20boron%20diffusion n6:measurement%20of%20inlet%20and%20outlet%20gas%20mixtures

n5:kontrolniKodProRIV

[6D5B7B41EE73]

n5:obor

n13:BM

n5:pocetDomacichTvurcuVysledku

2

n5:pocetTvurcuVysledku

3

n5:projekt

n17:TA01020972

n5:rokUplatneniVysledku

n10:2013

n5:technickeParametry

Při aplikaci principů popsaných v dané metodice dochází při ladění procesu ke snížení počtu ladících procesních várek o 40%

n5:tvurceVysledku

Piják, Anton Poruba, Aleš Pitrun, Jiří