This HTML5 document contains 46 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n19http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/podDruhVysledku/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000032%21RIV14-TA0-27711170/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n14http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/licencniPoplatek/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/kategorie/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/vyuzitiJinymSubjektem/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n4http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000032%21RIV14-TA0-27711170
rdf:type
n7:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Extraktor pro úpravu toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů a jejich reakčních zplodin tak, aby na výstupu z difúzního reaktoru nedocházelo k jejich kondenzaci a následné korozi vnitřních částí pece. An extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors is used in the manufacturing process of thin layers for semiconductor technologies in process furnaces. Extractor controls process gases and it`s fumes flow direction so there was no condensation of these gases at the outlet of diffusion reactor and no subsequent corrosion of internal furnace parts would appear. Extraktor pro úpravu toku procesních plynů v difúzních reaktorech se používá při výrobě tenkých vrstev pro polovodičovou techniku v procesních pecích. Upravuje směr toku procesních plynů a jejich reakčních zplodin tak, aby na výstupu z difúzního reaktoru nedocházelo k jejich kondenzaci a následné korozi vnitřních částí pece.
dcterms:title
Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech An Extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech
skos:prefLabel
An Extractor for modification of process gases flow direction in diffusion reactors Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech Extraktor pro úpravu směru toku procesních plynů v difúzních reaktorech
skos:notation
RIV/27711170:_____/13:#0000032!RIV14-TA0-27711170
n7:predkladatel
n17:ico%3A27711170
n3:aktivita
n20:P
n3:aktivity
P(TA01020972)
n3:dodaniDat
n4:2014
n3:domaciTvurceVysledku
n19:2501511 n19:4773764 n19:2633698
n3:druhVysledku
n18:G%2FB
n3:duvernostUdaju
n9:C
n3:ekonomickeParametry
V případě implementace extraktoru do vysokoteplotních pecí SVFur se předpokládá 2% nárůst ceny v segmentu oxidačních reaktorů společností SVCS Process Innovation s.r.o. Implementace tohoto funkčního vzorku v dané problematice zároveň posiluje kredit výrobce zařízení (SVCS) u svých zákazníků.
n3:entitaPredkladatele
n6:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
74445
n3:idVysledku
RIV/27711170:_____/13:#0000032
n3:interniIdentifikace
SV-DR-EXTR
n3:jazykVysledku
n12:cze
n3:kategorie
n11:A
n3:klicovaSlova
diffusion reactor; extractor
n3:klicoveSlovo
n10:extractor n10:diffusion%20reactor
n3:kontrolniKodProRIV
[9D7CA546774A]
n3:licencniPoplatek
n14:Z
n3:obor
n16:JA
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n3:pocetTvurcuVysledku
5
n3:projekt
n5:TA01020972
n3:rokUplatneniVysledku
n4:2013
n3:technickeParametry
Řešení spočívá v novém konstrukčním provedení reaktoru a dveří na straně scavengeru, které konec reaktoru utěsní, a ve vložení křemenné trubice menšího průměru (extraktoru) do vyústky reaktoru v místě vstupu procesních plynů. Trubice extraktoru leží na dně reaktoru a vede až do prostoru mezi pracovní zónou a dveřmi ke scavengeru. Odtud odvádí reaktanty do kondenzační nádoby, kde je jejich podstatná část zachycena. Zbylá část pak odejde do odtahu s velmi omezenou možností jeho korozního napadení.
n3:tvurceVysledku
Bařinka, Radim Poruba, Aleš Martinek, Pavel Piják, Anton Hrnko, Lukáš
n3:vlastnik
n6:vlastnikVysledku
n3:vyuzitiJinymSubjektem
n15:P