This HTML5 document contains 49 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n8http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/podDruhVysledku/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000031%21RIV14-TA0-27711170/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/licencniPoplatek/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/kategorie/
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/vyuzitiJinymSubjektem/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n15http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n16http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F27711170%3A_____%2F13%3A%230000031%21RIV14-TA0-27711170
rdf:type
n13:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
Modification of reactor of boron diffusion is based on implementation of dual input injector for separate inlet of gas mixtures (N2, O2, BBr3, DCE) to reactor to prevent chemical reaction between BBr3 and O2 in area where the temperature is bellow 500°C and where a B2O3 condensation at quartz sides and subsequently tube`s embrittlement and destruction occures. Shielding quartz element at inlet is a secondary protection from B2O3 condensate creation at gas inlet and quartz tube extractor eliminates condensate creation at opposite side of quartz tube and at scavenger. Modifikace reaktoru borové difúze spočívá v implementaci dvouvstupového injektoru pro oddělené přivádění plynných směsí (N2, O2, BBr3, DCE) do reaktoru k zabránění chemické reakce mezi BBr3 a O2 v oblasti teplot pod 500°C, kdy dochází ke kondenzaci B2O3 na stěnách křemenné trubky a následně k jejímu zkřehnutí a destrukci trubky. Křemenný stínící prvek na vstupu je sekundární ochrannou tvorby kondenzátu B2O3 u vstupu plynů a křemenný trubkový extraktor eliminuje tvorbu kondenzátu na opačné straně křemenné trubky a ve scavengeru. Modifikace reaktoru borové difúze spočívá v implementaci dvouvstupového injektoru pro oddělené přivádění plynných směsí (N2, O2, BBr3, DCE) do reaktoru k zabránění chemické reakce mezi BBr3 a O2 v oblasti teplot pod 500°C, kdy dochází ke kondenzaci B2O3 na stěnách křemenné trubky a následně k jejímu zkřehnutí a destrukci trubky. Křemenný stínící prvek na vstupu je sekundární ochrannou tvorby kondenzátu B2O3 u vstupu plynů a křemenný trubkový extraktor eliminuje tvorbu kondenzátu na opačné straně křemenné trubky a ve scavengeru.
dcterms:title
Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev. Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev. A function sample of modified reactor for boron diffusion with implemented injector and extractor and with shielding quartz elements for reduction of quartz reactor tube degradation and for increasing homogeneity of Si layers diffused by boron.
skos:prefLabel
A function sample of modified reactor for boron diffusion with implemented injector and extractor and with shielding quartz elements for reduction of quartz reactor tube degradation and for increasing homogeneity of Si layers diffused by boron. Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev. Funkční vzorek upraveného reaktoru borové difúze s implementovaným injektorem, extraktorem a stínícími křemennými prvky pro snížení degradace křemenné trubky reaktoru a zvýšení homogenity bórem difundovaných křemíkových vrstev.
skos:notation
RIV/27711170:_____/13:#0000031!RIV14-TA0-27711170
n13:predkladatel
n14:ico%3A27711170
n4:aktivita
n20:P
n4:aktivity
P(TA01020972)
n4:dodaniDat
n16:2014
n4:domaciTvurceVysledku
n6:4773764 n6:2501511 n6:2633698
n4:druhVysledku
n17:G%2FB
n4:duvernostUdaju
n7:C
n4:ekonomickeParametry
Modifikovaný reaktor borové difúze vyžaduje nižší nároky na provoz a údržbu. Frekvence pravidelného čištění křemenné trubky se zvýší o 150 a 200% a předpokládaný nárůst životnosti trubky je minimálně 100%.
n4:entitaPredkladatele
n12:predkladatel
n4:idSjednocenehoVysledku
76031
n4:idVysledku
RIV/27711170:_____/13:#0000031
n4:interniIdentifikace
SV-B-rctr
n4:jazykVysledku
n15:cze
n4:kategorie
n5:A
n4:klicovaSlova
boron diffusion reactor; quartz extractor; dual inlet injector
n4:klicoveSlovo
n9:boron%20diffusion%20reactor n9:quartz%20extractor n9:dual%20inlet%20injector
n4:kontrolniKodProRIV
[AD04542EB42C]
n4:licencniPoplatek
n18:Z
n4:obor
n19:JA
n4:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n4:pocetTvurcuVysledku
7
n4:projekt
n8:TA01020972
n4:rokUplatneniVysledku
n16:2013
n4:technickeParametry
Modifikací reaktoru borové difúze s dvouvstupovým injektorem, vstupním křemenným stínícím prvkem a křemenný trubkovým extraktorem dochází k podstatně nižšímu znečištění a celkové degradaci křemenné trubky, což má pozitivní vliv na četnost čištění reaktoru a jeho celkovou životnost (případně nutnost udržovat po celou dobu funkčnosti reaktor na teplotě nad 600°C).
n4:tvurceVysledku
Martinek, Pavel Wostrý, Petr Piják, Anton Frantínk, Ondřej Hrnko, Lukáš Poruba, Aleš Bařinka, Radim
n4:vlastnik
n12:vlastnikVysledku
n4:vyuzitiJinymSubjektem
n11:P