This HTML5 document contains 50 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n8http://localhost/temp/predkladatel/
n16http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n18http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/subjekt/
n15http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APU104390%21RIV14-TA0-26620___/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n12http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n19http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n6http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F00216305%3A26620%2F13%3APU104390%21RIV14-TA0-26620___
rdf:type
skos:Concept n17:Vysledek
dcterms:description
The aim of this work was a design of the device for defects analysis (stacking faults) of silicon wafer manufactured by Czochralski method. This device can analyze wafers of diameter up to 200 mm automatically. Hardware consists of optical microscope, positioning motorized xy stage, control electronics. Controlling and evaluating software, which has been developed as well, identifies, localizes and characterizes wafer defects. The device was developed in co-operation with company ON Semiconductor, Czech Republic. Cílem této práce bylo vytvořit zařízení pro analýzu defektů (vrstevných chyb) na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zařízení je schopno automaticky analyzovat desky až do průměru 200 mm. Sestává z optického mikroskopu, polohovacího motorizovaného xy stolku, obslužné elektroniky a ovládacího a vyhodnocovacího softwaru, který dokáže defekty na desce rozpoznat, lokalizovat a charakterizovat. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s firmou ON Semiconductor ČR. Cílem této práce bylo vytvořit zařízení pro analýzu defektů (vrstevných chyb) na povrchu křemíkových desek vyrobených Czochralského metodou. Zařízení je schopno automaticky analyzovat desky až do průměru 200 mm. Sestává z optického mikroskopu, polohovacího motorizovaného xy stolku, obslužné elektroniky a ovládacího a vyhodnocovacího softwaru, který dokáže defekty na desce rozpoznat, lokalizovat a charakterizovat. Zařízení bylo vyvíjeno ve spolupráci s firmou ON Semiconductor ČR.
dcterms:title
Zařízení pro analýzu křemíkových desek Device for analysis of silicon wafers Zařízení pro analýzu křemíkových desek
skos:prefLabel
Zařízení pro analýzu křemíkových desek Zařízení pro analýzu křemíkových desek Device for analysis of silicon wafers
skos:notation
RIV/00216305:26620/13:PU104390!RIV14-TA0-26620___
n17:predkladatel
n18:orjk%3A26620
n3:aktivita
n11:P
n3:aktivity
P(ED1.1.00/02.0068), P(GAP102/12/1881), P(TE01020233)
n3:cisloPeriodika
6
n3:dodaniDat
n6:2014
n3:domaciTvurceVysledku
n14:2141558 n14:1388428 n14:4197984 n14:6804233
n3:druhVysledku
n13:J
n3:duvernostUdaju
n5:S
n3:entitaPredkladatele
n15:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
118087
n3:idVysledku
RIV/00216305:26620/13:PU104390
n3:jazykVysledku
n4:cze
n3:klicovaSlova
Si wafer, measurement device, positioning
n3:klicoveSlovo
n12:positioning n12:measurement%20device n12:Si%20wafer
n3:kodStatuVydavatele
CZ - Česká republika
n3:kontrolniKodProRIV
[CDCE75DD8BD5]
n3:nazevZdroje
Jemná mechanika a optika
n3:obor
n19:BM
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
4
n3:pocetTvurcuVysledku
5
n3:projekt
n16:TE01020233 n16:GAP102%2F12%2F1881 n16:ED1.1.00%2F02.0068
n3:rokUplatneniVysledku
n6:2013
n3:svazekPeriodika
58
n3:tvurceVysledku
Wertheimer, Pavel Válek, Lukáš Šikola, Tomáš Páleníček, Michal Šulc, Dalibor
s:issn
0447-6441
s:numberOfPages
3
n8:organizacniJednotka
26620