This HTML5 document contains 48 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n11http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n19http://localhost/temp/predkladatel/
n16http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n14http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216305%3A26220%2F10%3APU90231%21RIV11-GA0-26220___/
n17http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
n8https://schema.org/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n22http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n20http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F00216305%3A26220%2F10%3APU90231%21RIV11-GA0-26220___
rdf:type
n10:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
The article deals with a novel laboratory anodic bonding device. This device is used for MEMS creation. The anodic bonding is a method for joining glass with silicon. It is one of the important steps of MEMS components packaging. The bonding mechanism joins the glass and silicon by heating them above 400 degrees of C and by applying an external DC electric field in a range from 500 to 1000 V. The bonded region can be seen easily through the glass because it changes the color to gray. The measured bonding strength is over 15 MPa and the cracks occur on the glass, i.e. the bonding strength is over the mechanical strength of the glass. Článek pojednává o novém laboratorním zařízení, které je založeno na technologii anodického pájení. Zařízení slouží k výrobě MEMS součástek. Článek pojednává o novém laboratorním zařízení, které je založeno na technologii anodického pájení. Zařízení slouží k výrobě MEMS součástek.
dcterms:title
Laboratorní zařízení pro anodické pájení A Novel Laboratory Anodic Bonding Device Laboratorní zařízení pro anodické pájení
skos:prefLabel
Laboratorní zařízení pro anodické pájení Laboratorní zařízení pro anodické pájení A Novel Laboratory Anodic Bonding Device
skos:notation
RIV/00216305:26220/10:PU90231!RIV11-GA0-26220___
n3:aktivita
n4:Z n4:P
n3:aktivity
P(2A-1TP1/143), P(GA102/09/1601), Z(MSM0021630503)
n3:dodaniDat
n20:2011
n3:domaciTvurceVysledku
n5:4135660 n5:1083988 n5:1904345
n3:druhVysledku
n18:D
n3:duvernostUdaju
n7:S
n3:entitaPredkladatele
n14:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
267763
n3:idVysledku
RIV/00216305:26220/10:PU90231
n3:jazykVysledku
n21:cze
n3:klicovaSlova
anodic bonding, MEMS
n3:klicoveSlovo
n6:MEMS n6:anodic%20bonding
n3:kontrolniKodProRIV
[58B345D1EBDD]
n3:mistoKonaniAkce
Brno
n3:mistoVydani
Brno
n3:nazevZdroje
Mikrosyn. Nové trendy v mikroelektonických systémech a nanotechnologiích
n3:obor
n22:JA
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
3
n3:pocetTvurcuVysledku
3
n3:projekt
n12:GA102%2F09%2F1601 n12:2A-1TP1%2F143
n3:rokUplatneniVysledku
n20:2010
n3:tvurceVysledku
Vrba, Radimír Pekárek, Jan Háze, Jiří
n3:typAkce
n11:CST
n3:zahajeniAkce
2010-12-14+01:00
n3:zamer
n17:MSM0021630503
s:numberOfPages
4
n16:hasPublisher
NOVPRESS Brno
n8:isbn
978-80-214-4229-0
n19:organizacniJednotka
26220