This HTML5 document contains 43 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n18http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n16http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n14http://localhost/temp/predkladatel/
n19http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n12https://schema.org/
shttp://schema.org/
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86380%21RIV11-MSM-26210___/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n6http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n13http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n10http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n5http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n8http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86380%21RIV11-MSM-26210___
rdf:type
n9:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
In this paper a new method of mechanical properties measurement of thin films is presented. This method combines preparation of specimen using focused ion beam and compressive test by nanoindenter. This paper is focused on descrition of the preparation microcompressive specimens. The thin Al film was studied,. The cylindrical pillars had diameter about 1.3. micrometers and their height was determined by thickness of layer (2 micrometers). The optimized reproducible process of the preparation of the microcompressive specimens was found. This process is optimized from geometry and preparation time poing of view. Successfully executed compressive tests confirmed suitability specimens for microcompresive test. Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků. Tento článek popisuje novou metodu měření mechanických vlastností tenkých vrstev, která kombinuje kompresní test pomocí nanoindentoru a přípravu vzorků pomocí fokusovaných iontových svazků. Článek je především zaměřen na popis přípravy mikrokompresních vzorků. Experimetny byly prováděny na tenké Al vrstvě. Připravené válcové pilířky měly průměr cca 1,3 mikrometru a jejich výška je dána tloušťkou vrstvy (2 mikrometry). Byl nalezen optimalizovaný postup přípravy mirkokompresních vzorků jak z hlediska požadované geometrie tak z hlediska časové náročnosti přípravy. Popsaný postup přípravy vede k reprodukovatelnému tvaru pilířků.
dcterms:title
Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam
skos:prefLabel
Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků Preparation of microcompresion specimens from thin films films using focused ion beam Příprava mikrokompresních vzorků z tenkých vrstev pomocí fokusovaných iontových svazků
skos:notation
RIV/00216305:26210/09:PU86380!RIV11-MSM-26210___
n4:aktivita
n10:S
n4:aktivity
S
n4:dodaniDat
n8:2011
n4:domaciTvurceVysledku
n19:5413206
n4:druhVysledku
n5:D
n4:duvernostUdaju
n13:S
n4:entitaPredkladatele
n11:predkladatel
n4:idSjednocenehoVysledku
336184
n4:idVysledku
RIV/00216305:26210/09:PU86380
n4:jazykVysledku
n17:cze
n4:klicovaSlova
focused ion beam, microcompresion, thin films
n4:klicoveSlovo
n6:focused%20ion%20beam n6:microcompresion n6:thin%20films
n4:kontrolniKodProRIV
[2185FDC57611]
n4:mistoKonaniAkce
Žilina - Súĺov
n4:mistoVydani
Sk
n4:nazevZdroje
SEMDOK 2009
n4:obor
n20:JR
n4:pocetDomacichTvurcuVysledku
1
n4:pocetTvurcuVysledku
3
n4:rokUplatneniVysledku
n8:2009
n4:tvurceVysledku
Vystavěl, Tomáš Kuběna, Ivo Kruml, Tomáš
n4:typAkce
n18:EUR
n4:zahajeniAkce
2009-01-29+01:00
s:numberOfPages
4
n16:hasPublisher
Neuveden
n12:isbn
978-80-8070-959-4
n14:organizacniJednotka
26210