This HTML5 document contains 46 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

Prefix	IRI
n12	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dcterms	http://purl.org/dc/terms/
n18	http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n10	http://localhost/temp/predkladatel/
n11	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n15	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n19	https://schema.org/
s	http://schema.org/
skos	http://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n7	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86378%21RIV11-MSM-26210___/
n2	http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdf	http://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n13	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n20	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdh	http://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n16	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n5	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n17	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n14	http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n9	http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item

n2:RIV%2F00216305%3A26210%2F09%3APU86378%21RIV11-MSM-26210___

rdf:type

skos:Concept n15:Vysledek

dcterms:description

Meření mechanických vlastností mikrometrických objektů stále není běžná záležitost. Tato práce popisuje možnost meření mechanických vlastností tenkých vrstev použitím nanokomprese. Válcové vzorky s osou kolmou k rovině tenké vrstvy byly připraveny pomocí fokusovaného iontového svazku. Tyto vzorky byly deformovány pomocí nanoindentoru s plochým hrotem. Byly získány kompresní křivky, ze které je možno přímo měřit mez kluzu a deformační zpevnění. Pro stanovení Youngova modulu je třeba použít analýzu pomocí metody konečných prvků. Je ukázáno, že Youngův modul lze stanovit docela přesně, ačkoliv geomtrie vzorků není dokonalá Measurements of mechanical properties of objects with micrometric (or even smaller) dimensions is still not a common task. In this paper, the possibility of evaluation basic mechanical properties of a thin film by nanocompression is demonstrated. Cylindrical specimens with the axis normal to the film plane, attached by the bottom to the substrate, are prepared by the focused ion beam technique. Such pillars are deformed by a nanoindenter outfitted by a flat diamond punch. An equivalent of compression curve is obtained. It is possible to measure directly parameters as the yield stress, stress at a chosen strain level or work hardening rate. Finite elements modelling is necessary for the Young modulus evaluation. It is shown that the Young modulus can be evaluated quite precisely, even if the geometry of the pillar is not perfect. Meření mechanických vlastností mikrometrických objektů stále není běžná záležitost. Tato práce popisuje možnost meření mechanických vlastností tenkých vrstev použitím nanokomprese. Válcové vzorky s osou kolmou k rovině tenké vrstvy byly připraveny pomocí fokusovaného iontového svazku. Tyto vzorky byly deformovány pomocí nanoindentoru s plochým hrotem. Byly získány kompresní křivky, ze které je možno přímo měřit mez kluzu a deformační zpevnění. Pro stanovení Youngova modulu je třeba použít analýzu pomocí metody konečných prvků. Je ukázáno, že Youngův modul lze stanovit docela přesně, ačkoliv geomtrie vzorků není dokonalá

dcterms:title

Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Determination of mechanical properties of thin films by nanocompresion Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese

skos:prefLabel

Determination of mechanical properties of thin films by nanocompresion Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese Měření mechanických vlastností tenkých vrstev pomocí nanokomprese

skos:notation

RIV/00216305:26210/09:PU86378!RIV11-MSM-26210___

n3:aktivita

n5:S

n3:aktivity

S

n3:dodaniDat

n9:2011

n3:domaciTvurceVysledku

n11:3875636 n11:6154557 n11:5413206

n3:druhVysledku

n14:D

n3:duvernostUdaju

n20:S

n3:entitaPredkladatele

n7:predkladatel

n3:idSjednocenehoVysledku

325407

n3:idVysledku

RIV/00216305:26210/09:PU86378

n3:jazykVysledku

n16:cze

n3:klicovaSlova

nanocompression, thin film, focused ion beam

n3:klicoveSlovo

n13:thin%20film n13:nanocompression n13:focused%20ion%20beam

n3:kontrolniKodProRIV

[5BAB7A1B556A]

n3:mistoKonaniAkce

Svratka

n3:mistoVydani

Neuveden

n3:nazevZdroje

Engineering mechanics 2009

n3:obor

n17:JR

n3:pocetDomacichTvurcuVysledku

3

n3:pocetTvurcuVysledku

4

n3:rokUplatneniVysledku

n9:2009

n3:tvurceVysledku

Kruml, Tomáš Náhlík, Luboš Hutař, Pavel Kuběna, Ivo

n3:typAkce

n12:EUR

n3:zahajeniAkce

2009-05-11+02:00

s:numberOfPages

7

n18:hasPublisher

Neuveden

n19:isbn

978-80-86246-35-2

n10:organizacniJednotka

26210