This HTML5 document contains 54 embedded RDF statements represented using HTML+Microdata notation.

The embedded RDF content will be recognized by any processor of HTML5 Microdata.

Namespace Prefixes

PrefixIRI
n7http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/typAkce/
dctermshttp://purl.org/dc/terms/
n18http://purl.org/net/nknouf/ns/bibtex#
n13http://localhost/temp/predkladatel/
n11http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/projekt/
n5http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/riv/tvurce/
n9http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/
n19https://schema.org/
n12http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/zamer/
shttp://schema.org/
skoshttp://www.w3.org/2004/02/skos/core#
n3http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/
n6http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010888%21RIV08-MSM-14310___/
n2http://linked.opendata.cz/resource/domain/vavai/vysledek/
rdfhttp://www.w3.org/1999/02/22-rdf-syntax-ns#
n4http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/klicoveSlovo/
n16http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/duvernostUdaju/
xsdhhttp://www.w3.org/2001/XMLSchema#
n21http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/jazykVysledku/
n17http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/aktivita/
n22http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/druhVysledku/
n20http://linked.opendata.cz/ontology/domain/vavai/riv/obor/
n8http://reference.data.gov.uk/id/gregorian-year/

Statements

Subject Item
n2:RIV%2F00216224%3A14310%2F04%3A00010888%21RIV08-MSM-14310___
rdf:type
n9:Vysledek skos:Concept
dcterms:description
In this paper the quantitative dependence of the mechanical stress inside diamond-like carbon films containing Si and O atoms on a flow rate ratio of methane CH4 and hexamethyldisiloxane C6H18Si2O in the deposition mixture is determined. For this purpose the modified Stoney's formula is employed. The important quantities taking place in this formula, i.e. the radius of curvature of the spherical surface of a deformed silicon substrate because of the film stress and the film thickness, are determined using the combined optical method based on two-beam interferometry, variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the influence of the flow rate ratio on the values of the mechanical stresses taking place inside these films is negligible within the experimental accuracy achieved for determining these stresses if the total flow rate of gases used to be constant in the deposition mixture. A discussion of this fact is also performed. The film studied w In this paper the quantitative dependence of the mechanical stress inside diamond-like carbon films containing Si and O atoms on a flow rate ratio of methane CH4 and hexamethyldisiloxane C6H18Si2O in the deposition mixture is determined. For this purpose the modified Stoney's formula is employed. The important quantities taking place in this formula, i.e. the radius of curvature of the spherical surface of a deformed silicon substrate because of the film stress and the film thickness, are determined using the combined optical method based on two-beam interferometry, variable angle spectroscopic ellipsometry and near-normal spectroscopic reflectometry. It is shown that the influence of the flow rate ratio on the values of the mechanical stresses taking place inside these films is negligible within the experimental accuracy achieved for determining these stresses if the total flow rate of gases used to be constant in the deposition mixture. A discussion of this fact is also performed. The film studied w V tomto článku je určena kvantitativní závislost mechanických napětí uvnitř diamantu podobných uhlíkových vrstev obsahujících Si a O na poměru průtoků metanu a hexamethyldisiloxanu v deposiční směsi. Pro tento účel je využita modifikovaná Stoneyova formule. Významné veličiny vyskytující se v této formuli, tj. poloměr křivosti sférického povrchu křemíkové podložky deformované kvůli napětí ve vrstvě a tloušťka vrstvy, jsou určeny pomocí dvoupaprskové interference, víceúhlové spektroskopické elipsometrie a spektroskopické reflektometrie aplikované při kolmém dopadu světla. Je ukázáno, že vliv poměru průtoků na hodnoty mechanického napětí uvnitř vrstev je zanedbatelný v rámci experimentální přesnosti dosažené při určení tohoto napětí, pokud celkový tok plynů v deposiční směsi je konstantní. Diskuse této skutečnosti je také provedena. Studované vrstvy byly připraveny pomocí plasmově podporované chemické deposice.
dcterms:title
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
skos:prefLabel
Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O Mechanická napětí v diamantu podobných uhlíkových vrstvách obsahující Si a O studovaná pomocí optických metod Mechanical stresses studied by optical methods in diamond-like carbon films containing Si and O
skos:notation
RIV/00216224:14310/04:00010888!RIV08-MSM-14310___
n3:strany
139-147
n3:aktivita
n17:Z n17:P
n3:aktivity
P(GA101/04/2131), Z(MSM 143100003)
n3:dodaniDat
n8:2008
n3:domaciTvurceVysledku
n5:8419868 n5:2026384 n5:5823803 n5:2794187 n5:9412921
n3:druhVysledku
n22:D
n3:duvernostUdaju
n16:S
n3:entitaPredkladatele
n6:predkladatel
n3:idSjednocenehoVysledku
572710
n3:idVysledku
RIV/00216224:14310/04:00010888
n3:jazykVysledku
n21:eng
n3:klicovaSlova
DLC films; mechanical stress; two-beam interferometry
n3:klicoveSlovo
n4:two-beam%20interferometry n4:DLC%20films n4:mechanical%20stress
n3:kontrolniKodProRIV
[7F6998C1FDA5]
n3:mistoKonaniAkce
August 4-5, 2004, Denver, Colorado, USA
n3:mistoVydani
Bellingham, Washington, USA
n3:nazevZdroje
SPIE's 49th Annual Meeting
n3:obor
n20:BM
n3:pocetDomacichTvurcuVysledku
5
n3:pocetTvurcuVysledku
6
n3:projekt
n11:GA101%2F04%2F2131
n3:rokUplatneniVysledku
n8:2004
n3:tvurceVysledku
Franta, Daniel Buršíková, Vilma Čudek, Vladimír Ohlídal, Ivan Ohlídal, Miloslav Šiler, Martin
n3:typAkce
n7:WRD
n3:zahajeniAkce
2004-01-01+01:00
n3:zamer
n12:MSM%20143100003
s:numberOfPages
9
n18:hasPublisher
SPIE - The International Society for Optical Engineering
n19:isbn
0-8194-5465-6
n13:organizacniJednotka
14310